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10，2,工藝排風(fēng)10 2 1 硅集成電路芯片工廠的工藝排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì).應(yīng)按工藝設(shè)備排風(fēng)性質(zhì)的不同分別設(shè)置獨(dú)立的排風(fēng)系統(tǒng).10、2。2、凡屬下列情況之一時(shí).應(yīng)分別設(shè)置獨(dú)立的排風(fēng)系統(tǒng) 1,兩種或兩種以上的氣體有害物混合后能引起燃燒或爆炸時(shí),2,混合后發(fā)生反應(yīng),形成危害性更大或腐蝕性的混合物.化合物時(shí)。3.混合后形成粉塵時(shí)、10,2 3，潔凈區(qū)事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn) 采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范,GB。50019的規(guī)定,10、2.4，使用有毒有害物質(zhì)的房間排風(fēng)量應(yīng)滿足最小通風(fēng)量6次。h、10.2,5、生產(chǎn)廠房工藝排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)設(shè)置不間斷電源,UPS，當(dāng)正常電力供應(yīng)中斷情況下,應(yīng)保證工藝排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)量不小于正常排風(fēng)量的50,10 2。6,生產(chǎn)廠房工藝排風(fēng)系統(tǒng)宜設(shè)置變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)，10、2.7、易燃易爆工藝排風(fēng)管道上不應(yīng)設(shè)置熔斷式防火閥,工藝排風(fēng)管道不宜穿越防火分區(qū)的防火墻。10 2。8。工藝排風(fēng)管道穿越有耐火時(shí)限要求的建筑構(gòu)件處,緊鄰建筑構(gòu)件的風(fēng)管管道應(yīng)采用與建筑構(gòu)件耐火時(shí)限相同的防火構(gòu)造進(jìn)行封閉或保護(hù)、每側(cè)長度不應(yīng)小于2m或風(fēng)管直徑的兩倍，并應(yīng)以其中較大者為準(zhǔn).10、2,9、工藝排風(fēng)管道應(yīng)采用不燃材料.10，2、10,工藝排風(fēng)系統(tǒng)管道及設(shè)備應(yīng)設(shè)置防靜電接地裝置、10，2、11。工藝排風(fēng)系統(tǒng)不應(yīng)兼作排煙系統(tǒng)使用