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中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范Code for,design,of、silicon、integrated.circuits、wafer.fabGB、50809 2012主編部門.中華人民共和國工業(yè)和信息化部批準(zhǔn)部門。中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部施行日期 2012年12月1日中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告第1497號。住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn),硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范,的公告、現(xiàn)批準(zhǔn)、硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范.為國家標(biāo)準(zhǔn)、編號為GB,50809、2012，自2012年12月1日起實(shí)施、其中 第5，2 1。5 3、1 8，2，4,8，3。11條為強(qiáng)制性條文、必須嚴(yán)格執(zhí)行，本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國計(jì)劃出版社出版發(fā)行.中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部2012年10月11日前 言 本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部。關(guān)于印發(fā)的通知、第二批 建標(biāo).2008,105號。的要求、由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一研究院科技工程股份有限公司會(huì)同有關(guān)單位共同編制完成。在規(guī)范編制過程中、編寫組根據(jù)我國硅集成電路芯片工廠的設(shè)計(jì)。建造和運(yùn)行的實(shí)際情況、進(jìn)行了大量調(diào)查研究,同時(shí)考慮我國目前集成電路生產(chǎn)的現(xiàn)狀,對國外的有關(guān)規(guī)范進(jìn)行深入的研讀.廣泛征求了全國有關(guān)單位與個(gè)人的意見。并反復(fù)修改、最后經(jīng)審查定稿，本規(guī)范共分12章、主要內(nèi)容包括。總則.術(shù)語，工藝設(shè)計(jì).總體設(shè)計(jì) 建筑與結(jié)構(gòu),防微振,冷熱源 給排水及消防、電氣 工藝相關(guān)系統(tǒng) 空間管理，環(huán)境安全衛(wèi)生等。本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行.本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對強(qiáng)制性條文的解釋 由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理、由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋,本規(guī)范在執(zhí)行過程中，請各單位結(jié)合工程實(shí)踐。認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗(yàn) 如發(fā)現(xiàn)需要修改和補(bǔ)充之處。請將意見和建議寄至信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司。硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范,管理組。地址.四川省成都市雙林路251號,郵政編碼。610021。傳真.028。84333172.以便今后修訂時(shí)參考。本規(guī)范主編單位、參編單位。主要起草人和主要審查人，主編單位.信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司、信息產(chǎn)業(yè)部電子工程標(biāo)準(zhǔn)定額站參編單位、中國電子工程設(shè)計(jì)院 中芯國際集成電路制造有限公司，上海華虹NEC微電子有限公司主要起草人,王毅勃，王明云 李驥，肖勁戈。江元升 黃華敬.何武.夏雙兵。陸崎、謝志雯。朱琳。劉娟,劉序忠、高艷敏,朱海英，徐小誠。劉姍宏主要審查人。陳霖新，薛長立 韓方俊 王天龍、劉志弘,彭力.劉嶸侃，李東升,毛煜林.楊琦 周禮譽(yù)