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- 硅集成電路芯片工廠設計規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 工藝設計
- 4 總體設計
- 5 建筑與結構
- 6 防 微 振
- 6.1 一般規(guī)定
- 6.2 結 構
- 6.3 機 械
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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6、3 機。械6.3，1。動力設備應采取動平衡好，運行平穩(wěn)，低噪聲的產(chǎn)品。6.3。2。對于易產(chǎn)生振動的動力設備及管道應采取隔振，減振措施.6 3。3 對于靠近振動敏感區(qū)的管道應控制管道內介質的流速，6，3、4.精密設備和儀器的防微振宜采用專用防振基座,其基座平臺的基本頻率應避開其下支承結構的共振頻率和其他振源的共振頻率,