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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50809-2012
- 條文說(shuō)明
- 1 總 則
- 3 工藝設(shè)計(jì)
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 10.1 凈 化 區(qū)
- 10.2 工藝排風(fēng)
- 10.3 純 水
- 10.4 廢 水
- 10.5 工藝循環(huán)冷卻水
- 10.6 大宗氣體
- 10.7 干燥壓縮空氣
- 10.9 特種氣體
- 10.10 化 學(xué) 品
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
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10、9、特種氣體10、9 3.從安全的角度考慮。規(guī)定自燃性、可燃性 毒性.腐蝕性氣瓶柜設(shè)置在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特種氣體柜中。規(guī)定排風(fēng)機(jī)，泄漏報(bào)警，自動(dòng)切斷閥設(shè)置應(yīng)急電源是為了防止在電源故障時(shí)。保證系統(tǒng)與操作人員的安全,多路閥門(mén)箱的設(shè)計(jì)是為了把泄漏點(diǎn)放置在封閉的裝置內(nèi)。防止外泄且便于操作、10.9,4、特種氣體分配系統(tǒng)吹掃盤(pán)設(shè)置.應(yīng)設(shè)置應(yīng)急切斷裝置.過(guò)流量控制裝置,設(shè)置手動(dòng)隔離閥是工藝運(yùn)行與安全的考慮。為防止特種氣體的本質(zhì)氣體在吹掃系統(tǒng)運(yùn)行故障時(shí)污染大宗氣體系統(tǒng)及不相容特種氣體混合后發(fā)生化學(xué)事故，規(guī)定吹掃氣源不應(yīng)使用工廠大宗氣體系統(tǒng),不相容特種氣體的吹掃盤(pán)不得共用同一吹掃盤(pán)