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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 工藝設(shè)計
- 4 總體設(shè)計
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 10.1 凈 化 區(qū)
- 10.2 工藝排風(fēng)
- 10.3 純 水
- 10.4 廢 水
- 10.5 工藝循環(huán)冷卻水
- 10.6 大宗氣體
- 10.7 干燥壓縮空氣
- 10.8 真 空
- 10.9 特種氣體
- 10.10 化 學(xué) 品
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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- 傳染病醫(yī)院建筑設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 50849-2014
- 托兒所、幼兒園建筑設(shè)計規(guī)范[附條文說明]（2019年版） JGJ 39-2016（2019年版）
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10，8.真，空10,8 1.生產(chǎn)廠房工藝真空系統(tǒng)的設(shè)計,應(yīng)符合下列規(guī)定.1、工藝真空系統(tǒng)的抽氣能力應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定。2。供氣設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的一個或多個供氣站內(nèi)。3 工藝真空設(shè)備應(yīng)選用能耗少,噪聲低的設(shè)備。4、工藝真空設(shè)備應(yīng)根據(jù)工藝系統(tǒng)的實際情況選用水環(huán)式或干式真空泵、5,工藝真空系統(tǒng)宜設(shè)置真空壓力過低保護裝置,10 8.2,工藝真空系統(tǒng)的管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定,1。工藝真空管路設(shè)計應(yīng)布置成樹枝狀形式.2、工藝真空主管道的直徑應(yīng)按全系統(tǒng)實際抽氣量進行設(shè)計,主支管道的直徑應(yīng)按局部系統(tǒng)實際抽氣量進行設(shè)計，支管道的直徑應(yīng)按設(shè)備最大抽氣量進行設(shè)計 3.工藝真空系統(tǒng)的管道材料宜根據(jù)工藝真空系統(tǒng)的真空壓力及真空特性選用不銹鋼管或厚壁聚氯乙烯管道 4、當(dāng)設(shè)計軟管連接時。應(yīng)選用金屬軟管 10，8 3、生產(chǎn)廠房清掃真空系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定，1，清掃真空系統(tǒng)的抽氣能力應(yīng)按同時使用清掃真空點的數(shù)量及每個使用點的抽氣量確定，2，供氣設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的一個或多個供氣站內(nèi),末端清掃設(shè)備應(yīng)設(shè)有過濾器 3，清掃真空管路設(shè)計應(yīng)布置成樹枝狀形式 支管路應(yīng)采用成Y形接頭沿抽氣方向進入主管路，4，在凈化區(qū)面積較小時,可采用移動式清掃真空系統(tǒng)