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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 工藝設(shè)計
- 4 總體設(shè)計
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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- 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 50073-2013
- 地下工程防水技術(shù)規(guī)范[附條文說明] GB 50108-2008
- 宿舍、旅館建筑項目規(guī)范[附條文說明] GB 55025-2022
- 民用建筑熱工設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 50176-2016
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- 液化石油氣供應(yīng)工程設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 51142-2015
2。術(shù)、語2，0、1.硅片,wafer從拉伸長出的高純度單晶硅的晶錠經(jīng)滾圓.切片及拋光等工序加工后所形成的硅單晶薄片,2。0 2。線寬，critical.dimension為所加工的集成電路電路圖形中最小線條寬度,也稱為特征尺寸。2.0,3。潔凈室,clean room空氣懸浮粒子濃度受控的房間.2。0.4,空氣分子污染,airborne。molecular.contaminant空氣中所含的對集成電路芯片制造產(chǎn)生有害影響的分子污染物、2.0、5,標(biāo)準(zhǔn)機械接口。standard mechanical，interface適用于不同生產(chǎn)設(shè)備的一種通用型接口裝置 可將硅片自動載入設(shè)備 并在加工結(jié)束后將硅片送出.同時保護硅片不受外界環(huán)境污染,2.0，6 港灣式布置，bay，and,chase生產(chǎn)工藝設(shè)備按不同的潔凈等級進行布置、并以隔墻分隔生產(chǎn)區(qū)和維修區(qū),2 0.7、大空間式布置，ball，room生產(chǎn)工藝設(shè)備布置在同一個區(qū)域,全區(qū)采用同一潔凈等級.未劃分生產(chǎn)區(qū)和維修區(qū)、2.0 8,自動物料處理系統(tǒng)。automatic、material。handling.system、AMHS.在硅集成電路芯片工廠內(nèi)部將硅片和掩模板在不同的工藝設(shè)備或不同的存儲區(qū)域之間進行傳輸，存儲和分發(fā)的自動化系統(tǒng)、2,0，9,純水,pure，water根據(jù)生產(chǎn)需要,去除生產(chǎn)所不希望保留的各種離子以及其他雜質(zhì)的水 2、0.10,緊急應(yīng)變中心。emergency、response.center內(nèi)設(shè)各種安全報警系統(tǒng)和救災(zāi)設(shè)備的安全值班室，為24h事故處理中心和指揮中心