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5，2。結(jié)、構(gòu)5，2，1，抗震設(shè)防區(qū)的硅集成電路芯片工廠建筑物應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，建筑工程抗震設(shè)防分類標(biāo)準(zhǔn).GB，50223的規(guī)定確定抗震設(shè)防類別及抗震設(shè)防標(biāo)準(zhǔn)、5.2.2 生產(chǎn)廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)、鋼結(jié)構(gòu)或鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)和鋼結(jié)構(gòu)的組合，并應(yīng)具有防微振、防火,密閉。防水,控制溫度變形和不均勻沉降性能、5、2,3 生產(chǎn)廠房宜采用大柱網(wǎng)大空間結(jié)構(gòu)形式 柱網(wǎng)尺寸宜為600mm的模數(shù)。5、2，4 生產(chǎn)廠房變形縫不宜穿越潔凈生產(chǎn)區(qū)。