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8。給排水及消防8,1。一般規(guī)定8、1.1,硅集成電路芯片工廠的給排水系統(tǒng)通常包括一般生產(chǎn)給水系統(tǒng),主要用于就地洗滌塔給水。一般生活給水系統(tǒng),超純水系統(tǒng),工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)。生產(chǎn)廢水系統(tǒng)。一般生活排水系統(tǒng).消防給水系統(tǒng)等。各個系統(tǒng)對水溫,水質(zhì)和水壓的要求都不一樣,因此應(yīng)根據(jù)安全合理,經(jīng)濟(jì)適用的要求分別設(shè)置系統(tǒng)、此外隨著國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和城市生活水平的提高,我國很多地區(qū)特別在北方和某些沿海城市發(fā)生水資源短缺和污染問題、水資源本身不足和水源的污染已成為我國國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的一個制約因素,因此很多地方實行水資源的統(tǒng)一規(guī)劃與管理、把用水問題、特別是將節(jié)水工作納入社會經(jīng)濟(jì)發(fā)展規(guī)劃 建立與健全相應(yīng)的規(guī)章制度。認(rèn)真貫徹開源節(jié)流并重方針.加強(qiáng)節(jié)水的科學(xué)管理、集成電路芯片生產(chǎn)是消耗水資源較大的行業(yè)之一,水資源的合理使用和節(jié)水技術(shù)措施成了企業(yè)必須重點考慮的一個方面 這不僅關(guān)系到生產(chǎn)成本的降低、同時也是節(jié)約資源。實施經(jīng)濟(jì)可持續(xù)發(fā)展的重要戰(zhàn)略措施。企業(yè)還必須在項目建設(shè)過程中落實節(jié)水工程。節(jié)水設(shè)施建設(shè)的、三同時.四到位 要做到節(jié)約用水、通常需要對全廠的給排水系統(tǒng)進(jìn)行通盤考慮,在完成全廠水量平衡圖的基礎(chǔ)上、分析該類項目的用水特點,通過各用水系統(tǒng)用水量.水質(zhì)要求,節(jié)水措施及節(jié)水潛力進(jìn)行比較分析,提高節(jié)約用水和循環(huán)用水的水平。實現(xiàn)節(jié)水節(jié)能,減少排污,8 1。3、潔凈室的潔凈度是受控的 任何可能造成潔凈環(huán)境受到影響的動作都應(yīng)有必要措施進(jìn)行控制.管道穿越潔凈室、其穿管處的處理就是關(guān)鍵一環(huán),總的說來.穿越處采用套管方式是行之有效的,一方面它保證了潔凈室內(nèi)的正壓風(fēng)不會大量泄漏造成能量浪費(fèi).另一方面也杜絕了非潔凈空氣順著管道縫隙進(jìn)入潔凈空間、對于無法設(shè)置套管的部位。也應(yīng)該有必要的技術(shù)措施.8 1。4 潔凈室的溫度,濕度和壓力都是受控的、基本處于恒溫恒濕的狀態(tài) 因此給排水管表面溫度高于潔凈室環(huán)境溫度時,應(yīng)該進(jìn)行隔熱保溫處理,同時 當(dāng)給排水管道表面溫度低于環(huán)境濕球溫度時.為避免由于管道表面結(jié)露影響潔凈環(huán)境的溫度,濕度和潔凈度。也應(yīng)該對管道進(jìn)行防結(jié)露保溫處理。對于在可能凍結(jié)區(qū)域架空敷設(shè)的給排水管道應(yīng)盡量避免死端,盲腸,袋狀管段。對于難以避免的袋狀管段,應(yīng)考慮設(shè)低點排液閥.對于難以避免的盲腸管段或設(shè)備間斷操作的管道.應(yīng)考慮保溫.伴熱等防凍措施、用于潔凈室內(nèi)給排水管道保溫需要的保溫材料應(yīng)確保保溫材料脫落的粉塵對環(huán)境的影響最小、
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