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10,工藝相關(guān)系統(tǒng)10、1、凈、化。區(qū)10.1、1 生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級應(yīng)符合下列要求,1，芯片生產(chǎn)廠房內(nèi)各潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級應(yīng)根據(jù)芯片生產(chǎn)工藝及所使用的生產(chǎn)設(shè)備的要求確定，2、潔凈度等級的劃分應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn) 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范.GB 50073的規(guī)定,3 潔凈區(qū)設(shè)計(jì)時(shí)?？諝鉂崈舳鹊燃壦帬顟B(tài)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)條件確定,10.1，2 生產(chǎn)環(huán)境的溫度、相對濕度指標(biāo)應(yīng)按芯片生產(chǎn)工序分別制定、一般潔凈區(qū)溫度應(yīng)控制在22，0.5、22，2。相對濕度應(yīng)控制在43、3。45 10.10 1、3。潔凈區(qū)內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列最大值 1.補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和、2.保證供給潔凈區(qū)內(nèi)人員所需的新鮮空氣量。10,1.4。潔凈區(qū)與周圍的空間應(yīng)按工藝要求.保持一定的正壓值.并應(yīng)符合下列規(guī)定,1,不同等級的潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa，2。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa.3，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于5Pa。10.1，5,氣流流型的設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求 1。氣流流型應(yīng)滿足空氣潔凈度等級的要求.2、空氣潔凈度等級要求為1級。4級時(shí)、應(yīng)采用垂直單向流，3,空氣潔凈度等級要求為5級時(shí).宜采用垂直單向流。4 空氣潔凈度等級要求6級、9級時(shí)、宜采用非單向流。10。1，6.潔凈區(qū)的送風(fēng)量，應(yīng)取下列最大值。1，為保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量.2,消除潔凈區(qū)內(nèi)熱、濕負(fù)荷所需的送風(fēng)量，3、向潔凈區(qū)內(nèi)供給的新鮮空氣量,10,1,7 凈化系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈區(qū)面積、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定 10.1.8。潔凈區(qū)的送風(fēng)宜采用下列方式,1。潔凈區(qū)面積較小,潔凈度等級較低且潔凈區(qū)可擴(kuò)展性不高時(shí) 宜采用集中送風(fēng)方式 2，潔凈區(qū)面積大。潔凈度等級較高時(shí),宜采用風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組,FFU。送風(fēng)。10。1.9 對于面積較大的潔凈廠房宜設(shè)置集中新風(fēng)處理系統(tǒng)。新風(fēng)處理系統(tǒng)送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取變頻措施 10、1,10,對于有空氣分子污染控制要求的區(qū)域、可采取在新風(fēng)機(jī)組及該區(qū)域風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組上加裝化學(xué)過濾器的措施，10、1，11,干盤管的設(shè)置應(yīng)符合下列要求,1。應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝和潔凈區(qū)布局確定合理的安裝位置、2。應(yīng)根據(jù)處理風(fēng)量。室內(nèi)冷負(fù)荷 風(fēng)機(jī)過濾器特性確定干盤管迎風(fēng)面速度和結(jié)構(gòu)參數(shù)。3。應(yīng)采取保證進(jìn)入干盤管的冷凍水溫度高于潔凈區(qū)內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度的措施。4.應(yīng)設(shè)置檢修排水設(shè)施。