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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 工藝設(shè)計(jì)
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 10.1 凈 化 區(qū)
- 10.2 工藝排風(fēng)
- 10.3 純 水
- 10.4 廢 水
- 10.5 工藝循環(huán)冷卻水
- 10.6 大宗氣體
- 10.7 干燥壓縮空氣
- 10.8 真 空
- 10.9 特種氣體
- 10.10 化 學(xué) 品
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說(shuō)明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說(shuō)明
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10，7 干燥壓縮空氣10，7 1,潔凈廠房?jī)?nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求.供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定.并應(yīng)符合下列規(guī)定 1、干燥壓縮空氣系統(tǒng)的供氣規(guī)模應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實(shí)際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定。2、供氣設(shè)備可集中布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的供氣站或生產(chǎn)廠房外的綜合動(dòng)力站.3,供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量 含油量.微粒粒徑要求確定 4 應(yīng)選用能耗少,噪聲低的無(wú)油潤(rùn)滑空氣壓縮機(jī)、10。7。2。風(fēng)冷式空氣壓縮機(jī)及風(fēng)冷式干燥裝置的設(shè)備布置。應(yīng)防止冷卻空氣發(fā)生短路現(xiàn)象，10.7,3.干燥壓縮空氣管道內(nèi)輸送露點(diǎn)低于。76 時(shí)。宜采用內(nèi)壁電拋光不銹鋼管 露點(diǎn)低于.40,時(shí),可采用不銹鋼管或熱鍍鋅碳鋼管,閥門宜采用波紋管閥或球閥。10.7 4,壓縮空氣系統(tǒng)的管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定，1、壓縮空氣主管道的直徑應(yīng)按全系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)。主支管道的直徑應(yīng)按局部系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì),支管道的直徑應(yīng)按設(shè)備最大用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì).2,干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于、40.時(shí),用于管道連接的密封材料宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片，3。當(dāng)設(shè)計(jì)軟管連接時(shí)，宜選用金屬軟管，4、管道連接宜采用焊接.不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊