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8。3,消 防8.3。1 硅集成電路芯片生產(chǎn)廠房是一個(gè)相對(duì)封閉的建筑物 室內(nèi)設(shè)備眾多.通道狹長(zhǎng)而曲折 一旦發(fā)生火災(zāi)、人員的疏散和滅火都非常困難.為了確保生產(chǎn)操作人員和設(shè)備財(cái)產(chǎn)的安全 設(shè)計(jì)中應(yīng)貫徹,預(yù)防為主。防消結(jié)合 的消防工作方針、因此硅集成電路芯片生產(chǎn)廠房除了設(shè)計(jì)有效的防火措施外。還必須根據(jù)消防安全 經(jīng)濟(jì)高效。合理統(tǒng)一的原則設(shè)計(jì)有效的滅火設(shè)施.預(yù)防火災(zāi)的發(fā)生和蔓延 8 3。2.硅集成電路芯片生產(chǎn)過(guò)程中使用大量的特種氣體和化學(xué)品。這些特種氣體和化學(xué)品通常具有不同的化學(xué)性質(zhì) 如可燃.易燃 自燃.腐蝕.氧化或惰性，因此硅集成電路芯片廠房需要根據(jù)不同物品的火災(zāi)危險(xiǎn)性有針對(duì)性的設(shè)置不同的消防措施，如ClF3遇水會(huì)發(fā)生爆炸.就需要根據(jù)其特性采用非水消防的消防措施，8。3 3，消防加壓水泵是消防給水系統(tǒng)的關(guān)鍵設(shè)備,直接關(guān)系消防給水系統(tǒng)是否完善,決定了火災(zāi)撲救的效果、根據(jù)火災(zāi)撲救效果統(tǒng)計(jì).在撲救失利的火災(zāi)案例中,81，5。的火場(chǎng)消防供水不足,導(dǎo)致火勢(shì)失控、8 3，4，8。3 5，此規(guī)定是根據(jù)我國(guó)的有關(guān)方針政策。具體工程實(shí)際情況并結(jié)合消防施救能力和撲救習(xí)慣而制定的，8 3，6、硅集成電路芯片生產(chǎn)廠房通常根據(jù)生產(chǎn)需要，調(diào)整房間布置或設(shè)備布置。有時(shí)需要調(diào)整消火栓的位置，室內(nèi)消火栓設(shè)置單獨(dú)的隔斷閥門?？梢允瓜鹚ㄎ恢玫恼{(diào)整變得快捷方便,8 3，7。自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)是硅集成電路芯片生產(chǎn)廠房的最為有效的滅火設(shè)施,一旦發(fā)生火情，噴頭及時(shí)開(kāi)啟出水、可以有效地控制火情并撲滅火災(zāi),硅集成電路芯片生產(chǎn)廠房自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)參數(shù)的確定是根據(jù)國(guó)內(nèi)外集成電路芯片生產(chǎn)廠房的常規(guī)實(shí)踐所規(guī)定的,8。3,9 在硅集成電路芯片生產(chǎn)廠房潔凈空調(diào)系統(tǒng)的運(yùn)行過(guò)程中.送風(fēng)自上而下 即使發(fā)生火災(zāi)、部分風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元仍舊送風(fēng).使得噴頭不能及時(shí)感受到熱氣流的熱量,為了讓噴頭能及時(shí)動(dòng)作，應(yīng)采用快速響應(yīng)噴頭.其動(dòng)作速度遠(yuǎn)快于標(biāo)準(zhǔn)噴頭 8。3，10，軟管用于硅集成電路芯片生產(chǎn)廠房的噴頭連接.可以避免地震時(shí)由于吊頂與消防管路的相對(duì)位移造成的管路和噴頭的破損而引發(fā)的水漬損害 同時(shí)由于軟管具有一定的長(zhǎng)度。在噴頭位置需要根據(jù)房間分隔變化時(shí),可以帶水作業(yè)，便于快捷方便調(diào)整噴頭布置 而且軟管安裝簡(jiǎn)單快捷,還可有效地降低硬管安裝誤差所造成的吊頂與消防管道間的應(yīng)力,采用不銹鋼材質(zhì) 是為了減少腐蝕并降低粉塵污染、8，3.11,本條規(guī)定是參照國(guó)內(nèi)外類似項(xiàng)目的設(shè)計(jì)實(shí)踐 目的是為了自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)能夠及時(shí)開(kāi)啟 迅速控制并撲滅火災(zāi) 避免火勢(shì)蔓延。本條為強(qiáng)制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行，8，3 12、硅烷具有自燃性.一旦泄漏.容易發(fā)生自燃，如果采用普通的濕式滅火系統(tǒng)或雨淋系統(tǒng)?；饎?shì)撲滅后 泄漏的氣體容易發(fā)生爆炸、所以該類火災(zāi)的滅火要求是首先及時(shí)關(guān)斷自動(dòng)關(guān)斷閥 切斷氣源、防止事故擴(kuò)大，同時(shí)做好氣瓶的防護(hù),8.3.13、本條是根據(jù)國(guó)內(nèi)外集成電路廠房的工程實(shí)踐和借鑒美國(guó)防火協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體制造設(shè)施保護(hù)標(biāo)準(zhǔn) NFPA，318的相關(guān)規(guī)定而制定的，