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6、防 微.振6.1，一般規(guī)定6,1.1，集成電路芯片廠房的微振控制歸根結(jié)底是在生產(chǎn)區(qū)樓面提供一個(gè)滿足振動(dòng)敏感設(shè)備安裝要求的微振動(dòng)環(huán)境，所以微振控制要求是由生產(chǎn)工藝及所選設(shè)備決定的.在集成電路芯片生產(chǎn)中 對(duì)微振有較高要求的通常為光刻設(shè)備以及掃描電子顯微鏡，其容許振動(dòng)值的物理量表達(dá)通常有振幅。μm,振動(dòng)速度.mm，s,以及振動(dòng)加速度。mm s2 這三種物理量可以通過(guò)公式換算。在國(guó)際上通常以通用振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)曲線VC進(jìn)行定義。如圖3所示，VC曲線是指一組表示在一定頻率范圍內(nèi)振動(dòng)幅值，用速度表征。的曲線，按振動(dòng)速度從高到低依次為VC.A,VC、B VC,G。有關(guān)VC曲線的定義,場(chǎng)地和樓面微振動(dòng)的測(cè)試，數(shù)據(jù)采集，處理和報(bào)告.可參考美國(guó)環(huán)境科學(xué)與技術(shù)協(xié)會(huì),IEST。的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。表2、圖3，通用振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)曲線VC6.1、2 6、1 3.交通運(yùn)輸設(shè)施對(duì)建設(shè)場(chǎng)地的微振動(dòng)水平有重要影響,當(dāng)場(chǎng)地的微振動(dòng)超過(guò)擬建廠房生產(chǎn)工藝的要求時(shí)，依靠結(jié)構(gòu)措施抑制廠房結(jié)構(gòu)的振動(dòng)響應(yīng)需付出高昂代價(jià)且具有較大技術(shù)風(fēng)險(xiǎn).因此 調(diào)查交通設(shè)施。如碼頭.火車、高鐵 城鐵，鄰近的飛機(jī)場(chǎng)等，對(duì)所選場(chǎng)地的影響。評(píng)價(jià)場(chǎng)地是否適宜建設(shè)微振敏感廠房是必須進(jìn)行的前期工作，規(guī)劃中的交通設(shè)施或振動(dòng)較大的廠房,如建造新廠房.道路變化，新增城鐵及地鐵等、對(duì)場(chǎng)地的振動(dòng)影響由于尚未實(shí)施而難于評(píng)價(jià).對(duì)集成電路芯片廠的正常運(yùn)行具有潛在威脅.因而了解擬建場(chǎng)地周邊的遠(yuǎn)景規(guī)劃也是重要的前期工作.表2，振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)曲線VC的應(yīng)用及解釋6、1.5 場(chǎng)地的測(cè)試和評(píng)價(jià)是指在建設(shè)開(kāi)始前。對(duì)擬建場(chǎng)地的微振基本情況進(jìn)行測(cè)試、作為設(shè)計(jì)的基礎(chǔ) 結(jié)構(gòu)完工時(shí)的測(cè)試和評(píng)價(jià)主要為驗(yàn)證施工完的結(jié)構(gòu)體是否符合防微振設(shè)計(jì)的要求。竣工時(shí)的測(cè)試和評(píng)價(jià)是指在建筑完工，潔凈室安裝完成、機(jī)電設(shè)備就位且運(yùn)行.潔凈室空調(diào)系統(tǒng)平穩(wěn)運(yùn)行，但工藝設(shè)備以及工藝支持系統(tǒng)尚未安裝的情況下進(jìn)行的測(cè)試和評(píng)價(jià).可最終確定環(huán)境是否滿足設(shè)備防微振的要求。這個(gè)階段的測(cè)試有時(shí)也由工藝設(shè)備提供商負(fù)責(zé)、用于確定生產(chǎn)環(huán)境的微振影響是否能保證設(shè)備正常工作，