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8、3。消、防8 3、1.硅集成電路芯片工廠除應(yīng)采取防火措施以外,還應(yīng)結(jié)合我國當(dāng)前的技術(shù)。經(jīng)濟(jì)條件、配置必要的滅火設(shè)施.8 3.2.潔凈區(qū)內(nèi)除應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓系統(tǒng)、自動噴水滅火系統(tǒng)和滅火器系統(tǒng)外 還應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備的具體條件和要求,有針對性的設(shè)置其他消防設(shè)備 8,3，3、消防水泵應(yīng)設(shè)備用泵，消防泵房應(yīng)設(shè)置備用動力源，8.3,4。廠房室外消防給水可采用高壓.臨時(shí)高壓或低壓給水系統(tǒng),并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)。建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范、GB、50016的規(guī)定 8，3、5。生產(chǎn)廠房潔凈生產(chǎn)層及上、下技術(shù)夾層除不通行的技術(shù)夾層外，應(yīng)根據(jù)面積大小。設(shè)備臺數(shù)等設(shè)置室內(nèi)消火栓 8.3、6。設(shè)置于生產(chǎn)廠房內(nèi)的室內(nèi)消火栓宜設(shè)單獨(dú)隔斷閥門、8，3,7、生產(chǎn)廠房潔凈生產(chǎn)層及潔凈區(qū)吊頂或技術(shù)夾層內(nèi)。均應(yīng)設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)、設(shè)計(jì)參數(shù)宜按表8 3,7規(guī)定確定、表8，3 7。自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)參數(shù)8、3 8，潔凈區(qū)的建筑構(gòu)造材料為非可燃物且該區(qū)域內(nèi)也無其他可燃物的存在時(shí).該區(qū)域可不設(shè)自動噴水滅火系統(tǒng).8、3,9，垂直單向流的潔凈區(qū)和潔凈區(qū)域應(yīng)使用快速響應(yīng)噴頭 8.3,10、潔凈區(qū)吊頂下噴頭宜采用不銹鋼柔性接管與自動噴水滅火系統(tǒng)供水管道相連接，8 3。11,存放易燃易爆的特種氣體氣瓶柜間內(nèi)應(yīng)設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)噴頭.8 3,12.在硅烷配送區(qū)域應(yīng)設(shè)置直接作用于各氣瓶的水噴霧系統(tǒng)、系統(tǒng)的動作信號應(yīng)來自火災(zāi)探測器，且火災(zāi)探測器應(yīng)與氣瓶上的自動關(guān)斷閥聯(lián)動、8 3，13，工藝排風(fēng)管道的消防保護(hù)應(yīng)符合下列要求,1 設(shè)置于廠房內(nèi)。用于輸送可燃?xì)怏w且最大等效內(nèi)徑大于或等于250mm的金屬或其他非可燃材質(zhì)的排風(fēng)管道,應(yīng)在風(fēng)管內(nèi)設(shè)置噴頭,2。風(fēng)管內(nèi)自動噴水滅火系統(tǒng)的設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度不得小于1 9L。min m2，風(fēng)管內(nèi)自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)流量應(yīng)滿足最遠(yuǎn)端5個(gè)噴頭的出水量，單個(gè)噴頭實(shí)際出水量不應(yīng)小于76L、min.水平風(fēng)管內(nèi)噴頭距離不得大于6。1m，垂直風(fēng)管內(nèi)噴頭最大間距不得大于3。7m。3。為風(fēng)管內(nèi)噴頭供水的干管上應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的信號控制閥，4，設(shè)置噴頭保護(hù)的排風(fēng)管應(yīng)設(shè)置避免消防噴水蓄積的排水措施。5，安裝在腐蝕性氣體風(fēng)管內(nèi)的噴頭及管件應(yīng)采取防腐蝕材質(zhì)或襯涂合適的防腐材料，6 風(fēng)管內(nèi)噴頭的安裝應(yīng)便于定期維護(hù)檢修.