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11,空間管理11 0 1 硅集成電路芯片工廠室外空間管理、應(yīng)符合下列規(guī)定 1,室外管線宜采用架空敷設(shè)的方式集中布置，2，室外管架不應(yīng)影響道路的正常通行、3 室外管架與鄰近的建筑物的間距應(yīng)滿足管道安裝及維護(hù)的要求,4、室外管架宜設(shè)置檢修馬道.5.室外管架的空間和荷載應(yīng)為擴(kuò)展留有余量、11。0。2。生產(chǎn)廠房內(nèi)的空間管理應(yīng)符合下列規(guī)定,1，應(yīng)滿足設(shè)備的正常生產(chǎn)空間。2。不應(yīng)影響設(shè)備維修以及搬入的空間。3,應(yīng)滿足輔助設(shè)備的維修。安裝以及搬入、4、應(yīng)滿足設(shè)備檢修的空間。5,管線之間以及管線與建筑物之間應(yīng)預(yù)留足夠的安裝維修空間.6.應(yīng)計(jì)及管道入口的空間及管道井的位置，7.應(yīng)為今后擴(kuò)展預(yù)留管道空間和荷載。11.0，3 生產(chǎn)廠房內(nèi)的管道應(yīng)利用凈化區(qū)上 下技術(shù)夾層的空間進(jìn)行布置。11,0.4。凈化區(qū)上技術(shù)夾層內(nèi)除消防管道外.不宜設(shè)置水管及其他液體輸送管道 11、0 5.主要管線在上技術(shù)夾層布置時.應(yīng)計(jì)及氣流組織的空間 排風(fēng)管道和大宗氣體以及特種氣體管道敷設(shè)的空間高度、11.0、6,在上技術(shù)夾層內(nèi)宜設(shè)置檢修通道，11、0、7.主要管線在下技術(shù)夾層布置時 應(yīng)計(jì)及輔助設(shè)備.主管。支管，二次配管和消防噴淋管道的空間高度,11，0。8，在管道種類多.空間有限的區(qū)域宜設(shè)置公共管架。并應(yīng)符合下列規(guī)定。1 在華夫板下和凈化區(qū)高架地板下應(yīng)留有二次配管配線的空間。2。尺寸較大的管道宜布置在公共管架的上層。3,有坡度要求的管道宜布置在管道的下層 4、管道改變方式時宜同時改變管道的標(biāo)高,5、應(yīng)為今后擴(kuò)展預(yù)留管道空間和荷載。6。由梁，柱承重的公共管架宜在結(jié)構(gòu)施工時預(yù)埋承重構(gòu)件,