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9 電。氣9.1,供、配,電9、1,1，硅集成電路芯片工廠應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)結(jié)構(gòu)以及工廠負(fù)荷容量確定合理的供電電壓，9、1 2，硅集成電路芯片工廠用電負(fù)荷等級(jí)應(yīng)為一級(jí).其供電品質(zhì)應(yīng)滿足芯片生產(chǎn)工藝及設(shè)備的要求.并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范,GB，50052，爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范，GB,50058及,電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范。GB、50472的規(guī)定,9。1.3 硅集成電路芯片廠房配電電壓等級(jí)應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備及動(dòng)力設(shè)備的要求 9,1。4。硅集成電路芯片廠房的供電系統(tǒng)應(yīng)將生產(chǎn)工藝設(shè)備與動(dòng)力設(shè)備的供電分設(shè) 生產(chǎn)工藝設(shè)備宜采用獨(dú)立的變壓器供電并采取抑制浪涌的措施,帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線制、三相三線制.三相四線制 系統(tǒng)接地型式宜采用TN,S或TN.C.S系統(tǒng)，9。1，5.對(duì)于有特殊要求的工藝設(shè)備.應(yīng)設(shè)不間斷電源。UPS，或備用發(fā)電裝置，