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10 工藝相關(guān)系統(tǒng)10，1,凈 化 區(qū)10 1、1，生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級應(yīng)符合下列要求.1、芯片生產(chǎn)廠房內(nèi)各潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級應(yīng)根據(jù)芯片生產(chǎn)工藝及所使用的生產(chǎn)設(shè)備的要求確定，2。潔凈度等級的劃分應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準.潔凈廠房設(shè)計規(guī)范、GB、50073的規(guī)定 3.潔凈區(qū)設(shè)計時.空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)條件確定，10。1,2,生產(chǎn)環(huán)境的溫度 相對濕度指標應(yīng)按芯片生產(chǎn)工序分別制定,一般潔凈區(qū)溫度應(yīng)控制在22。0,5.22、2.相對濕度應(yīng)控制在43、3,45。10,10、1。3,潔凈區(qū)內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列最大值、1 補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。2 保證供給潔凈區(qū)內(nèi)人員所需的新鮮空氣量。10.1。4.潔凈區(qū)與周圍的空間應(yīng)按工藝要求，保持一定的正壓值.并應(yīng)符合下列規(guī)定 1 不同等級的潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa.2，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa。3、潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于5Pa 10.1.5 氣流流型的設(shè)計.應(yīng)符合下列要求 1.氣流流型應(yīng)滿足空氣潔凈度等級的要求、2?？諝鉂崈舳鹊燃壱鬄?級 4級時、應(yīng)采用垂直單向流、3.空氣潔凈度等級要求為5級時。宜采用垂直單向流。4、空氣潔凈度等級要求6級，9級時.宜采用非單向流,10.1。6，潔凈區(qū)的送風(fēng)量,應(yīng)取下列最大值.1、為保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量，2、消除潔凈區(qū)內(nèi)熱、濕負荷所需的送風(fēng)量,3、向潔凈區(qū)內(nèi)供給的新鮮空氣量。10。1.7，凈化系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈區(qū)面積?？諝鉂崈舳鹊燃壓彤a(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定.10。1，8.潔凈區(qū)的送風(fēng)宜采用下列方式、1。潔凈區(qū)面積較小.潔凈度等級較低且潔凈區(qū)可擴展性不高時、宜采用集中送風(fēng)方式。2 潔凈區(qū)面積大.潔凈度等級較高時 宜采用風(fēng)機過濾器機組。FFU。送風(fēng)。10，1 9。對于面積較大的潔凈廠房宜設(shè)置集中新風(fēng)處理系統(tǒng).新風(fēng)處理系統(tǒng)送風(fēng)機應(yīng)采取變頻措施，10.1，10 對于有空氣分子污染控制要求的區(qū)域,可采取在新風(fēng)機組及該區(qū)域風(fēng)機過濾器機組上加裝化學(xué)過濾器的措施。10。1、11.干盤管的設(shè)置應(yīng)符合下列要求.1.應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝和潔凈區(qū)布局確定合理的安裝位置，2。應(yīng)根據(jù)處理風(fēng)量。室內(nèi)冷負荷 風(fēng)機過濾器特性確定干盤管迎風(fēng)面速度和結(jié)構(gòu)參數(shù)、3.應(yīng)采取保證進入干盤管的冷凍水溫度高于潔凈區(qū)內(nèi)空氣露點溫度的措施,4 應(yīng)設(shè)置檢修排水設(shè)施。