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8,2,給。排,水8、2,4、硅集成電路芯片生產(chǎn)工藝復(fù)雜,加工精度高,大多數(shù)工序都要使用超純水清洗硅片 水資源消耗量較高.雖然城市自來(lái)水作為芯片工廠水源已經(jīng)很安全 為了保證用水更安全,很多企業(yè)都加大了水回用的力度,同時(shí)在可能的情況下還自備水源。如地下水.所以無(wú)論回用水還是自備水源水質(zhì)是否優(yōu)于城市自來(lái)水水質(zhì),均不得用管道直接連接在城市自來(lái)水管上。即使加裝倒流防止器也不允許.這也是國(guó)際上通行的規(guī)定 本條為強(qiáng)制性條文、必須嚴(yán)格執(zhí)行。8 2。8,由于管道法蘭處容易泄漏。所以輸送有毒、有害。腐蝕性介質(zhì)的管道,不得在人行通道和機(jī)泵上方設(shè)置法蘭。以免法蘭滲漏時(shí)介質(zhì)落于人體上而發(fā)生工傷事故、如果在管道與法蘭連接的設(shè)備 閥門(mén) 特殊管件連接處必須采用法蘭連接時(shí),連接法蘭處應(yīng)采取有效的防護(hù)措施,8 2,10,8,2、11。硅集成電路芯片廠房根據(jù)生產(chǎn)需要。通常使用較多的化學(xué)藥品.這些化學(xué)藥品性質(zhì)各不相同,分別表現(xiàn)為可燃.易燃,自燃.有毒,腐蝕或氧化性,針對(duì)不同化學(xué)特性 這些化學(xué)品通常都應(yīng)分門(mén)別類(lèi)儲(chǔ)存.同時(shí)不得和禁忌物品混合儲(chǔ)存。作為貯存和配送化學(xué)藥劑的房間.必須要有可靠的排水措施將泄漏的化學(xué)藥劑和消防排水有組織收集并臨時(shí)貯存.避免因?yàn)榛瘜W(xué)藥劑和被化學(xué)藥劑污染的消防排水因無(wú)組織四處漫流而導(dǎo)致人員傷害和環(huán)境污染.就地通過(guò)地溝等設(shè)施貯存泄漏的化學(xué)藥劑和消防排水是一種常見(jiàn)的簡(jiǎn)單易行的技術(shù)措施。
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