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- 硅集成電路芯片工廠設計規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 工藝設計
- 4 總體設計
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 10.1 凈 化 區(qū)
- 10.2 工藝排風
- 10.3 純 水
- 10.4 廢 水
- 10.5 工藝循環(huán)冷卻水
- 10.6 大宗氣體
- 10.7 干燥壓縮空氣
- 10.8 真 空
- 10.9 特種氣體
- 10.10 化 學 品
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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10 9。特種氣體10,9，1，特種氣體宜采用外購鋼瓶氣體供應。在廠區(qū)內(nèi)應設置儲存,分配系統(tǒng)，10。9、2 特種氣體宜根據(jù)危險性質(zhì)和存儲數(shù)量設置獨立的氣瓶間.10 9 3.潔凈區(qū)內(nèi)自燃.易燃 腐蝕性或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設置,應符合下列規(guī)定，1、危險氣體鋼瓶應設置在具有連續(xù)機械排風的特種氣體柜中、2,排風機。泄漏報警。自動切斷閥均應設置應急電源、3，一個特種氣體分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設備使用時 應設置多路閥門箱,10 9 4。特種氣體分配系統(tǒng)應符合下列規(guī)定 1。應設置吹掃盤，2、應設置應急切斷裝置,3。應設置過流量控制裝置、4，應設置手動隔離閥.5.運行過程中的吹掃氣源不應使用廠區(qū)內(nèi)大宗氣體系統(tǒng)。6,不相容特種氣體不得共用同一吹掃盤.