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10.3。純。水10。3、1。硅集成電路芯片工廠純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，合理確定純水制備系統(tǒng)的規(guī)模,供水水質(zhì)、10.3 2 純水的制備，儲(chǔ)存和輸送的設(shè)備和材料、除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)要求外、尚應(yīng)符合下列規(guī)定，1，純水的制備。儲(chǔ)存和輸送設(shè)備的配置應(yīng)確保系統(tǒng)滿足運(yùn)行安全可靠.技術(shù)先進(jìn),經(jīng)濟(jì)適用,便于操作維護(hù)等要求.2 純水的制備 儲(chǔ)存和輸送設(shè)備材料的選擇應(yīng)與其接觸的水質(zhì)相匹配、設(shè)備內(nèi)表面應(yīng)滿足光潔.平整等物理性能。同時(shí)應(yīng)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐腐蝕.易清洗 10、3,3，純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式，純水輸配系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)水質(zhì)、水量.用水點(diǎn)數(shù)量、管道材質(zhì)以及使用點(diǎn)對(duì)水壓穩(wěn)定性等要求確定?？蛇x擇采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)、直接回水的循環(huán)供水系統(tǒng)或逆向回水的循環(huán)供水系統(tǒng),并應(yīng)符合下列規(guī)定,1.純水輸配系統(tǒng)的附加循環(huán)水量宜為額定耗用水量的25、50 2,純水管道流速的選擇應(yīng)能有效地防止水質(zhì)降低和微生物的滋生,并應(yīng)兼顧壓力損失,供、回水管流速分別不宜低于1。5m,s和0。5m s 3，純水輸配管路系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)運(yùn)行維護(hù)的需要設(shè)置必要的采樣口。4,工藝設(shè)備二次配管。且截止閥離設(shè)備較遠(yuǎn)時(shí)。宜安裝回水管.10,3 4.用于純水系統(tǒng)的水質(zhì)檢測(cè)設(shè)備及儀表.其安裝不應(yīng)使純水水質(zhì)降低 其檢測(cè)范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗(yàn)的要求 10 3.5,純水精處理或終端處理裝置宜靠近主要用水工藝設(shè)備設(shè)置 10,3、6。純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)符合下列要求.1 應(yīng)滿足純水水質(zhì)指標(biāo)的要求.2 材料的化學(xué)穩(wěn)定性應(yīng)高,3、管道物理性能應(yīng)好.內(nèi)壁光潔度應(yīng)高.4.不得有滲氣現(xiàn)象.10.3.7 純水管道的閥門(mén)和附件的選用應(yīng)符合下列規(guī)定。1 應(yīng)選擇與管道相同的材質(zhì)。2.應(yīng)選用密封好。結(jié)構(gòu)合理，無(wú)滲氣現(xiàn)象的閥門(mén)、10、3,8，純水廢水回收設(shè)計(jì)應(yīng)與硅集成電路芯片生產(chǎn)工藝設(shè)計(jì)密切配合 并應(yīng)根據(jù)工程實(shí)際情況、回收水質(zhì),水量。結(jié)合當(dāng)前的技術(shù).經(jīng)濟(jì)條件等合理確定回收率 10、3。9?；厥账幚硐到y(tǒng)流程的擬定和設(shè)備的選擇,應(yīng)根據(jù)工程的具體情況，回收水水質(zhì)。水量以及處理后的用途等因素綜合確定，當(dāng)不能取得回收水水質(zhì)資料時(shí)、可按已建同類工程經(jīng)驗(yàn)或科學(xué)實(shí)驗(yàn)確定。