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10,4.廢.水10，4.1。硅集成電路芯片生產(chǎn)廢水通常包括可回用廢水.含氟廢水?；瘜W(xué)機械拋光廢水。一般酸堿廢水,高濃度含氨廢水等。分類收集既是提高廢水處理效率的需要。也是提高全廠水系統(tǒng)回用率的需要。10。4 3.硅集成電路芯片生產(chǎn)排放的廢水.其水質(zhì)和水量在一天24h內(nèi)均存在波動、水量、水質(zhì)波動越大,過程參數(shù)越難以控制 處理效果越不穩(wěn)定.因此為了保證廢水處理系統(tǒng)的平穩(wěn)運行，設(shè)計大小合適的調(diào)節(jié)池對廢水進(jìn)行均質(zhì)均量的調(diào)整是非常重要的，同時 合理設(shè)計調(diào)節(jié)池。對后續(xù)處理設(shè)施的處理能力?；ㄍ顿Y，運轉(zhuǎn)費用等均有較大影響 10.4 5 硅集成電路芯片生產(chǎn)廢水種類較多、且污染物特性各不相同，如何處置脫水后的泥餅直接影響廢水和污泥系統(tǒng)的分類和處置技術(shù) 目前國內(nèi)較為成熟的污泥脫水設(shè)備有壓濾機和離心脫水機等 脫水設(shè)備的選擇應(yīng)充分考慮污泥的脫水性質(zhì)和脫水要求。結(jié)合設(shè)備的供貨情況經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定、污泥脫水性質(zhì)的指標(biāo)有比阻.黏滯度，粒度等.脫水要求通常是指泥餅的含水率.10,4、6 進(jìn)入脫水設(shè)備的污泥含水率直接影響泥餅的產(chǎn)率,在一定條件下，泥餅的產(chǎn)率與進(jìn)入脫水沒備的污泥含水率成反比關(guān)系 因此當(dāng)污泥含水率大于98，時 應(yīng)該考慮適當(dāng)?shù)臐饪s處理以降低其含水率.10.4 7.硅集成電路芯片生產(chǎn)廢水處理后生成的污泥需要根據(jù)其是否是危險廢物分別進(jìn)行外運處置。外運的頻度往往取決于委外處置廠商的處理能力和外運條件，所以廢水處理站通常都需要考慮污泥暫存的污泥料倉或堆場。10。4，9。硅集成電路芯片工廠要達(dá)到高效用水通常采取兩種途徑,循環(huán)使用和回收利用,循環(huán)使用通常在生產(chǎn)工藝設(shè)備的設(shè)計制造過程中加以考慮。而回收利用則是水系統(tǒng)工程師必須要考慮的問題、如何保證不同水質(zhì)和水量的用后純水有效回收和利用,離不開對全廠用水系統(tǒng)的水量平衡，水量平衡是指在一個確定的用水系統(tǒng)內(nèi)，輸入水量之和等于輸出水量之和 硅集成電路芯片工廠的水量平衡是以硅集成電路芯片生產(chǎn)為主要考核對象，通過對各用水系統(tǒng)的用水水質(zhì)和消耗水量的分析,根據(jù)水量的平衡關(guān)系分析用水的合理程度。