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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 工藝設(shè)計(jì)
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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1，總,則1、0,1，為在硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)中貫徹執(zhí)行國家現(xiàn)行法律 法規(guī)。滿足硅集成電路芯片生產(chǎn)要求 確保人身和財(cái)產(chǎn)安全,做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)，經(jīng)濟(jì)合理，環(huán)境友好,制定本規(guī)范 1,0 2,本規(guī)范適用于新建,改建和擴(kuò)建的硅集成電路芯片工廠的工程設(shè)計(jì)，1.0、3.硅集成電路芯片工廠的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足硅集成電路芯片生產(chǎn)工藝要求,同時(shí)應(yīng)為施工安裝.調(diào)試檢測，安全運(yùn)行.維護(hù)管理提供必要條件。1 0.4、硅集成電路芯片工廠的設(shè)計(jì)。除應(yīng)符合本規(guī)范外。尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。