"大量文字復(fù)制"等功能僅限VIP會(huì)員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進(jìn)行復(fù)制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復(fù)制等特權(quán)
- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 工藝設(shè)計(jì)
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 6.1 一般規(guī)定
- 6.2 結(jié) 構(gòu)
- 6.3 機(jī) 械
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
熱門資源
更多>
- 冷庫(kù)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 50072-2021
- 檔案館建筑設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] JGJ 25-2010
- 硬泡聚氨酯保溫防水工程技術(shù)規(guī)范[附條文說明] GB 50404-2017
- 建筑地面設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 50037-2013
- 工業(yè)建筑節(jié)能設(shè)計(jì)統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 51245-2017
- 城市公共廁所設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] CJJ 14-2016
- 老年人照料設(shè)施建筑設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] JGJ 450-2018
- 建筑工程建筑面積計(jì)算規(guī)范[附條文說明] GB/T 50353-2013
- 實(shí)驗(yàn)動(dòng)物設(shè)施建筑技術(shù)規(guī)范[附條文說明] GB 50447-2008
- 民用建筑綠色性能計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] JGJ/T 449-2018
6.防，微。振6 1.一般規(guī)定6，1，1，硅集成電路芯片廠房應(yīng)滿足光刻及測(cè)試設(shè)備的防微振要求,6 1。2 硅集成電路芯片廠房的選址應(yīng)對(duì)場(chǎng)地周圍的振源進(jìn)行充分的調(diào)查與評(píng)估,6。1，3 廠址選擇除既有環(huán)境的振源外,尚應(yīng)計(jì)及在未來(lái)可能產(chǎn)生的振源對(duì)擬建廠房的影響,6。1,4。振動(dòng)大的動(dòng)力設(shè)備和運(yùn)輸工具等應(yīng)遠(yuǎn)離對(duì)振動(dòng)敏感的凈化生產(chǎn)區(qū)域.動(dòng)力廠房與生產(chǎn)廠房不宜貼近布置 6、1 5.硅集成電路芯片廠房宜在下列階段進(jìn)行微振測(cè)試和評(píng)價(jià)，1、在建設(shè)前、對(duì)場(chǎng)地素地進(jìn)行測(cè)試和評(píng)價(jià)、2,生產(chǎn)廠房結(jié)構(gòu)體完工后 對(duì)于布置光刻及測(cè)試設(shè)備的區(qū)域進(jìn)行測(cè)試,3.生產(chǎn)廠房竣工時(shí).對(duì)布置光刻及測(cè)試設(shè)備的區(qū)域進(jìn)行測(cè)試、