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、9。4。防、靜，電、9，4 1。硅集成電路芯片廠房生產(chǎn)區(qū)應(yīng)為一級(jí)防靜電工作區(qū)，9、4，2。防靜電工作區(qū)的地面和墻面，柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型材料。導(dǎo)靜電型地面 墻面。柱面的表面電阻.對(duì)地電阻應(yīng)為2。5.104Ω、1、106Ω。摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V.靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s，9 4,3、防靜電工作區(qū)內(nèi)不得選用短效型靜電材料及制品.并應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器 防靜電安全工作臺(tái)。9。4 4，防靜電環(huán)境的門(mén)窗選擇應(yīng)符合下列要求。1 應(yīng)選用靜電耗散材料制作門(mén)窗或采用靜電耗散型材料貼面，2。金屬門(mén)窗表面應(yīng)涂刷靜電耗散型涂層。并應(yīng)接地,3 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時(shí).其表面應(yīng)粘貼靜電耗散型透明薄膜或噴涂靜電耗散型涂層.9、4、5.防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管 應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作 并應(yīng)接地，9 4。6、防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)，各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時(shí),應(yīng)在其表面安裝緊密結(jié)合的金屬網(wǎng)并將其接地 當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時(shí) 應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體、并應(yīng)用接地引線與其可靠接地。9 4 7，生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)金屬物體包括潔凈室的墻面,門(mén)窗.吊頂?shù)慕饘俟羌軕?yīng)與接地系統(tǒng)做可靠連接，導(dǎo)靜電地面，防靜電活動(dòng)地板。工作臺(tái)面，座椅等應(yīng)做防靜電接地,9,4,8、生產(chǎn)廠房防靜電接地設(shè)計(jì)及其他要求。應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范.GB 50611的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。