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10.5，工藝循環(huán)冷卻水10。5 1，工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)是硅集成電路芯片生產(chǎn)的重要生產(chǎn)支持系統(tǒng)，工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)循環(huán)水量大,運(yùn)行能耗高，如何根據(jù)工藝生產(chǎn)設(shè)備需求合理設(shè)計(jì)工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)是該系統(tǒng)能否正常運(yùn)行的關(guān)鍵，所以工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)充分考慮工藝生產(chǎn)設(shè)備對(duì)水溫,水壓和水質(zhì)的需求,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后合理設(shè)置 10,5。2,工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的實(shí)際使用負(fù)荷往往隨著生產(chǎn)設(shè)備的實(shí)際運(yùn)行而變化波動(dòng)、為了滿足水壓、水量的要求 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的加壓水泵通常都按變頻恒壓變流量的模式運(yùn)行 設(shè)置備用泵是考慮工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的運(yùn)行安全。10。5 4、10.5.5、工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)過(guò)濾器和換熱器設(shè)置備用是根據(jù)工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的重要性和運(yùn)行安全考慮.10.5,7 本條規(guī)定了工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)輸送管路設(shè)置的常規(guī)要求、10 5。8，水質(zhì)對(duì)工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)非常重要。它不僅關(guān)系到系統(tǒng)本身的運(yùn)行安全和穩(wěn)定.也直接關(guān)系到與冷卻水直接接觸的工藝生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)行安全和穩(wěn)定.因此水質(zhì)穩(wěn)定裝置的合理選擇和設(shè)置必須充分考慮工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的形式 系統(tǒng)中各設(shè)備和管道材料的材質(zhì)以及工藝生產(chǎn)設(shè)備過(guò)水部分的材質(zhì)，并結(jié)合防腐。阻垢和滅菌的需要、