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10、6，大宗氣體10。6 1。大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜在工廠內(nèi)或鄰近處設(shè)置制氣裝置是為了便于輸送,外購(gòu)液態(tài)氣儲(chǔ)罐或瓶裝氣體是目前許多工廠的實(shí)際狀況。10，6、2,硅集成電路芯片工廠用大宗氣體包括氮?dú)?，氫氣、氧?氬氣、氦氣五種氣體 本條對(duì)大宗氣體的使用作了一般規(guī)定，考慮到大宗氣體系統(tǒng)在工程完工,檢修后要對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行吹掃，同時(shí)考慮氫氣，氧氣的氣體特性,規(guī)定氫氣,氧氣管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管。放散管應(yīng)引至室外并高出建筑的屋脊1m。氫氣放散管道上應(yīng)設(shè)置阻火器。10,6、3,氣體純化裝置是保證氣體品質(zhì)的重要設(shè)備 氣體氣源參數(shù)和使用參數(shù)是確定純化裝置的重要數(shù)據(jù)、同時(shí)純化裝置的布置既要考慮氣體的特性。又要便于操作，所以 規(guī)定氣體依據(jù)性質(zhì)布置在一個(gè)或幾個(gè)房間內(nèi) 但是。氫氣純化器因?yàn)闅錃獾谋ㄌ匦詰?yīng)布置在獨(dú)立的房間內(nèi)，終端純化器靠近工藝設(shè)備是為了保證氣體的品質(zhì)，10、6.4。為防止由于管道及閥門附件的油脂與管內(nèi)氧氣因管道靜電導(dǎo)致的燃燒,規(guī)定氧氣管道及閥門附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理 氧氣管道應(yīng)設(shè)置靜電泄放的接地設(shè)施是為了防止靜電產(chǎn)生。設(shè)置自動(dòng)切斷閥是安全設(shè)計(jì)的要求,10。6 5 大宗氣體管道和閥門的選擇與工藝對(duì)氣體品質(zhì)的要求關(guān)聯(lián)度較大、因此規(guī)定根據(jù)氣體的純度確定管道材料和閥門類型。同時(shí)規(guī)定氣體管道閥門,附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致,10.6、6。根據(jù)大宗氣體的性質(zhì),規(guī)定管道連接除與設(shè)備或閥門連接采用卡套連接或閥門連接外，管道連接應(yīng)采用焊接，考慮大宗氣體管道的高純性質(zhì),規(guī)定當(dāng)采用軟管連接時(shí),應(yīng)采用金屬軟管