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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 工藝設(shè)計(jì)
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 9.1 供 配 電
- 9.2 照 明
- 9.3 接 地
- 9.4 防 靜 電
- 9.5 通信與安全保護(hù)
- 9.6 電 磁 屏 蔽
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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9.電,氣9，1、供.配、電9，1，1 硅集成電路芯片工廠應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)結(jié)構(gòu)以及工廠負(fù)荷容量確定合理的供電電壓、9，1,2 硅集成電路芯片工廠用電負(fù)荷等級(jí)應(yīng)為一級(jí)。其供電品質(zhì)應(yīng)滿足芯片生產(chǎn)工藝及設(shè)備的要求。并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范,GB 50052。爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范。GB，50058及 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范,GB、50472的規(guī)定。9,1,3 硅集成電路芯片廠房配電電壓等級(jí)應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備及動(dòng)力設(shè)備的要求，9。1，4,硅集成電路芯片廠房的供電系統(tǒng)應(yīng)將生產(chǎn)工藝設(shè)備與動(dòng)力設(shè)備的供電分設(shè),生產(chǎn)工藝設(shè)備宜采用獨(dú)立的變壓器供電并采取抑制浪涌的措施。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線制、三相三線制.三相四線制、系統(tǒng)接地型式宜采用TN，S或TN。C,S系統(tǒng),9。1 5，對于有特殊要求的工藝設(shè)備,應(yīng)設(shè)不間斷電源。UPS.或備用發(fā)電裝置.