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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 工藝設(shè)計(jì)
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 6.1 一般規(guī)定
- 6.2 結(jié) 構(gòu)
- 6.3 機(jī) 械
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說(shuō)明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說(shuō)明
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6、2,結(jié)、構(gòu)6、2.1，生產(chǎn)廠房防微振除應(yīng)計(jì)及場(chǎng)地振動(dòng)外、尚應(yīng)計(jì)及動(dòng)力設(shè)備、潔凈區(qū)機(jī)電系統(tǒng).物料傳輸系統(tǒng)運(yùn)行中產(chǎn)生的振動(dòng)，以及人員走動(dòng)的影響.6,2.2.生產(chǎn)廠房結(jié)構(gòu)宜采用在下夾層實(shí)施小柱距柱網(wǎng)或在下夾層設(shè)置防振墻或柱間支撐等有利于微振控制的措施、6.2.3。生產(chǎn)廠房結(jié)構(gòu)分析時(shí)應(yīng)計(jì)及由于防微振需要所設(shè)的支撐或防振墻等抗側(cè)力構(gòu)件的影響，6。2 4.生產(chǎn)廠房的地面宜采用厚板型鋼筋混凝土地面.布置微振敏感設(shè)備區(qū)域的建筑地坪厚度不宜小于300mm，當(dāng)鋼筋混凝土地面兼作上部結(jié)構(gòu)的筏板基礎(chǔ)時(shí) 厚度不宜小于600mm,