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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50809-2012
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 工藝設(shè)計(jì)
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 9.1 供 配 電
- 9.2 照 明
- 9.5 通信與安全保護(hù)
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
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- 水土保持工程設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 51018-2014
9。2，照,明9,2，1。凈化生產(chǎn)區(qū)照明的照度值宜為500lx。光刻區(qū)的照度值宜為600lx，輔助設(shè)備區(qū)的照度宜為300lx。實(shí)驗(yàn)室的照度值宜為600lx 輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室，氣閘室.走廊等照明的照度值宜為200lx、300lx,9 2。5，光刻區(qū)照明使用黃光、由于波長較長 能量較低、不會(huì)影響到感光膠,外界照明光線是白光.含有多種波長的組合。其短波長的成分足以使感光膠曝光，