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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 7 工藝檢測設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 7.1 一般規(guī)定
- 7.2 飛針測試系統(tǒng)
- 7.3 聲學掃描檢測系統(tǒng)
- 7.4 3D光學測量儀
- 7.5 自動光學檢查儀
- 7.6 激光測厚儀
- 7.7 X射線檢查儀
- 7.8 芯片剪切力／引線拉力測試儀
- 8 工程驗收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程驗收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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7，4，3D光學測量儀7.4。1,3D光學測量儀的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定,1.地面振動頻率小于10Hz時振幅不應(yīng)超過2μm。振動頻率在10Hz 50Hz之間時加速度不應(yīng)超過0,4g，g為重力加速度。2,設(shè)備安裝環(huán)境應(yīng)有恒溫措施.7,4、2 3D光學測量儀的調(diào)試及試運行應(yīng)符合下列規(guī)定。1,應(yīng)仔細觀察各軸的傳動構(gòu)件。運動時應(yīng)順暢無異響,2。應(yīng)根據(jù)設(shè)備技術(shù)要求由專業(yè)人員使用計量合格的光學尺、塊規(guī)對光學測量儀的系統(tǒng)測量誤差進行補償.建立系統(tǒng)補償文檔.3 測量光學校準件中標準圖形及塊規(guī)高度。測量誤差應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)指標要求,4。多次測量光學校準件中同一標準圖形及塊規(guī)同一高度，重復測量誤差應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)指標要求，5.測量行程應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)指標要求,