"大量文字復(fù)制"等功能僅限VIP會員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進(jìn)行復(fù)制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復(fù)制等特權(quán)
- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機(jī)
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)
- 5.4 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機(jī)
- 5.7 顯 影 臺
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
- 5.9 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程驗收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
熱門資源
更多>
- 機(jī)械工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)范[附條文說明] JBJ 18-2000
- 汽車轉(zhuǎn)向系?基本要求 GB 17675-2021
- 鋼制球形儲罐（含第1號修改單） GB/T 12337-2014
- 機(jī)械行業(yè)節(jié)能設(shè)計規(guī)范[附條文說明] JBJ 14-2004
- 蒸餾法海水淡化工程設(shè)計規(guī)范 HY/T 115-2008
- 冷藏庫門 SB/T 10569-2010
- 特種設(shè)備生產(chǎn)和充裝單位許可規(guī)則（文末含第1號修改單、第2號修改單） TSG 07-2019
- 冶金工業(yè)設(shè)備抗震鑒定標(biāo)準(zhǔn) YB/T 9260-1998
- 固定式鋼梯及平臺安全要求 第3部分：工業(yè)防護(hù)欄桿及鋼平臺 GB 4053.3-2009
- 翅片管式換熱設(shè)備技術(shù)規(guī)范 JB/T 11249-2012
5、7 顯 影,臺5，7，1 顯影臺的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定,1.搬運(yùn)時應(yīng)防撞防抖。不得直接拖動 2.應(yīng)通過調(diào)節(jié)四個地腳高度,使得真空吸盤呈水平狀態(tài) 并應(yīng)用水平儀進(jìn)行測試和確認(rèn).3、顯影.清洗腔的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)與廠房內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)相連接、4、應(yīng)接入壓縮空氣,氮氣及真空三種氣路 沖洗用純水壓力應(yīng)為0.13MPa,0。35MPa，5,設(shè)備的排液管必須接入廢液管道 廢液管道必須通向廢液處理池、6，存儲顯影液和漂洗液的儲液罐及自動噴濺系統(tǒng)安裝好后不應(yīng)漏液 7.應(yīng)核查設(shè)備的氮氣欠壓保護(hù)，真空保護(hù)。設(shè)備急停報警功能是否正常、承片臺吸附時的真空壓力值應(yīng)低于35kPa,5、7。2 顯影臺的調(diào)試及試運(yùn)行應(yīng)符合下列規(guī)定，1.應(yīng)先連接好顯影液供應(yīng)管道 去離子水管道.2,開機(jī)后設(shè)置好工藝液體的溫度 液體溫度應(yīng)在10，30.間可調(diào).應(yīng)調(diào)節(jié)好噴頭噴濺壓力。其調(diào)節(jié)范圍應(yīng)在0、14.7，104Pa間、3。應(yīng)設(shè)定好真空口及盤旋轉(zhuǎn)速度,顯影時間。漂洗時間,沖洗時間以及主軸轉(zhuǎn)速、并應(yīng)進(jìn)入工藝設(shè)置選項設(shè)置好試運(yùn)行工藝步驟.4.應(yīng)將已曝光的基片放入片盒。然后將片盒放入片盒卡槽位置.5,應(yīng)選擇要運(yùn)行的程序并單擊屏幕主運(yùn)行界面上的、啟動、按鈕.系統(tǒng)可按設(shè)定的參數(shù)和工藝步驟進(jìn)行自動顯影，清洗操作，6，進(jìn)行顯影 漂洗和烘干工序操作時基片均應(yīng)有氮氣保護(hù)、工藝結(jié)束后應(yīng)自動進(jìn)行氮氣吹干和高速甩干.7.機(jī)械手自動進(jìn)行取片和收片時不得手動在片盒中取片或放片。8,設(shè)備運(yùn)行時應(yīng)無振動和噪聲,9，設(shè)備顯影，漂洗后應(yīng)進(jìn)行烘干處理,溫度控制范圍宜在60 180 控溫精度應(yīng)為，2、10,結(jié)束后應(yīng)對基片進(jìn)行目檢 整個基片表面應(yīng)沖洗干凈并且完全干燥，應(yīng)無微粒 污點或瑕疵。顯影合格的基片應(yīng)均勻,線條應(yīng)整齊，應(yīng)無殘膠 無毛刺,