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3,4.設(shè)備安裝3,4,1.微組裝設(shè)備的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定,1，設(shè)備定位時(shí)應(yīng)預(yù)留電氣箱全開(kāi)空間和操作.維修空間.2 電源。氣源、水源和接地端子一次配管配線應(yīng)已到位.3.安裝時(shí)應(yīng)保護(hù)設(shè)備表面,密封面不應(yīng)被損傷.劃傷。設(shè)備的安裝應(yīng)牢固 可靠、沉頭螺釘安裝后不應(yīng)突出被連接件表面、4，設(shè)備有防微振控制或特別承重要求時(shí) 應(yīng)采取對(duì)應(yīng)的防微振或提高承載能力的措施,5.應(yīng)根據(jù)設(shè)備技術(shù)要求由專業(yè)人員完成設(shè)備的二次配管配線，接入設(shè)備的真空管路宜采用SS316L不銹鋼管道 純水.壓縮空氣等的配管與設(shè)備連接宜采用聚四氟乙烯 聚氨酯軟管連接,3 4.2，在地坪上直接安裝微組裝設(shè)備應(yīng)符合下列規(guī)定,1。應(yīng)先在地面放置基礎(chǔ)墊片，并應(yīng)確認(rèn)基礎(chǔ)墊片能均勻支撐設(shè)備,2。操作時(shí)不得將手放置于基礎(chǔ)墊片上方 3 若設(shè)備配置有地腳螺栓，則應(yīng)使每一支地腳螺栓正確裝入其螺孔中,移動(dòng)設(shè)備時(shí)應(yīng)使用氣墊搬運(yùn)，4 應(yīng)通過(guò)調(diào)節(jié)地腳螺栓的支撐長(zhǎng)度或基礎(chǔ)墊片的有效厚度逐步調(diào)平設(shè)備，并應(yīng)確保鎖緊螺母無(wú)間隙.且每一個(gè)地腳都落實(shí)在地板的對(duì)應(yīng)基礎(chǔ)墊片上,3、4 3 在臺(tái)面上直接安裝微組裝設(shè)備應(yīng)符合下列規(guī)定 1、安裝設(shè)備的工作臺(tái)面應(yīng)水平、平穩(wěn) 牢固，2.臺(tái)面上應(yīng)鋪有防靜電材料。并與廠房防靜電接地系統(tǒng)有效連接.3.4.4、設(shè)備的水平調(diào)整宜采用框式水平儀進(jìn)行測(cè)量，精度要求高的設(shè)備可使用兩支架式水平儀，3.4.5。微組裝設(shè)備的接地應(yīng)有效可靠 接地引出端應(yīng)與廠房接地系統(tǒng)穩(wěn)固連接.設(shè)備接地電阻不應(yīng)大于4Ω，接地系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB。50169的有關(guān)規(guī)定。3 4。6、設(shè)備就位后應(yīng)由技術(shù)人員核查設(shè)備的動(dòng)力配置,3 4、7 設(shè)備安裝完畢后應(yīng)填寫(xiě)安裝工程記錄。內(nèi)容及格式應(yīng)符合本規(guī)范表A。0、2的規(guī)定