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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 3.1 施工條件
- 3.2 設備開箱
- 3.3 設備搬運
- 3.4 設備安裝
- 3.5 設備調(diào)試與試運行
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 5 薄膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 6 組裝封裝工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 7 工藝檢測設備安裝、調(diào)試及試運行
- 8 工程驗收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線工藝設備安裝工程驗收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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3?；疽?guī)定3。1 施工條件3。1,1,微組裝設備安裝前、潔凈廠房應符合下列規(guī)定，1，應空態(tài)驗收合格，凈化空調(diào)系統(tǒng)應連續(xù)正常運行24h以上 2.溫度宜為20.26。3，相對濕度宜為30，70,4.地坪承載能力應滿足設備承載要求,5.凈空高度應滿足設備安裝要求、6.廠房入口的人身凈化設施應已啟用。7、應具備設備搬入口、8，消防設施應已通過專項驗收，可以啟用 9,防靜電工作區(qū)的防靜電設施應已通過測試驗收,10。應有符合要求的電源、氣源，水源和接地端子、11 應設置員工安全疏散通道、3.1、2。微組裝設備安裝應具備下列技術(shù)文件、1,設備安裝平面圖。2，設備裝箱清單。3、設備制造商提供的設備安裝，運行,維護技術(shù)文件及安裝技術(shù)參數(shù) 3,1,3.進入凈化廠房的施工人員應取得進入潔凈區(qū)的通行證.特殊工種應按有關(guān)規(guī)定持證上崗，3 1，4.設備安裝及配管配線工程材料應符合現(xiàn)行國家標準 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范,GB，50472的有關(guān)規(guī)定.3.1 5，施工用的機具應符合現(xiàn)行國家標準。微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范。GB,50467的有關(guān)規(guī)定,