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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 5 薄膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機
- 5.4 化學氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機
- 5.7 顯 影 臺
- 5.8 反應離子刻蝕機
- 5.9 化學機械拋光機
- 6 組裝封裝工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 7 工藝檢測設備安裝、調(diào)試及試運行
- 8 工程驗收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線工藝設備安裝工程驗收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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5 3，真空蒸發(fā)鍍膜機5 3.1、真空蒸發(fā)鍍膜機的安裝應符合下列規(guī)定，1、設備的主泵為擴散泵時，應在泵的進氣口一側安裝油蒸氣捕集井，2。在鍍膜過程中發(fā)生射線的設備應加裝防射線鏡片 3、真空室內(nèi)的部件在安裝前應進行清潔和干燥處理.4，應裝好真空測量規(guī)管且與真空計連接好,5。設備接地電阻應小于4Ω，5,3.2.真空蒸發(fā)鍍膜機的調(diào)試及試運行應符合下列規(guī)定。1 應檢測設備管路接口是否漏氣.具備加熱功能的應先空載烘烤.2,應核查設備機械真空泵.分子泵，低溫泵等是否運轉(zhuǎn)正常 應檢測極限真空，漏氣率是否滿足要求。3。應檢查緊急按鈕是否有效、4、制冷系統(tǒng)和輸液系統(tǒng)應連續(xù)運行24h無滲漏現(xiàn)象，5、應將待鍍工件清洗干凈、烘干.裝在機內(nèi)的載片臺上,應在電子束蒸發(fā)槍坩堝內(nèi)裝入鍍膜材料.6 關上鍍膜室大門啟動真空泵時 運行狀態(tài)應符合下列規(guī)定.1。噪聲.振動應無異常，2,真空室真空度可在規(guī)定時間內(nèi)降到規(guī)定值.本底真空的壓力值應控制在2、10。4Pa以下 極限真空的壓力值可達到2 10。5Pa，3.應延長真空泵的抽氣時間、7 應通過變頻器調(diào)頻將工件架調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速、8，應向鍍膜室內(nèi)充入反應氣體并維持所需的真空度.運行中還應定期測量真空管道及鍍膜室等部位的壓力,9 應調(diào)整電子槍的陰極電流、先預熔鍍膜材料,當鍍膜材料充分預熔后應加大陰極電流。10,應設置蒸發(fā)工藝參數(shù)。鍍膜開始時 應根據(jù)膜厚儀讀數(shù)達到所需鍍膜厚度后關閉蒸發(fā)擋板。然后應將電子束蒸發(fā)槍陰極電流調(diào)至零、11，在工件加熱烘烤過程中、設備傳動部分應運轉(zhuǎn)自如，應無卡滯.松動現(xiàn)象.12、取出工件后.測試膜層的厚度及均勻性.膜層附著力應滿足設備指標要求,