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7。3,聲學掃描檢測系統(tǒng)7,3 1,聲學掃描檢測系統(tǒng)的安裝應配置抽水泵 30μm級過濾器。盛液容器底部液體應能徹底排干,7,3,2。聲學掃描檢測系統(tǒng)的調(diào)試及試運行應符合下列規(guī)定,1 應向盛液容器中加入無氣泡的純水,并應確認水深在規(guī)定范圍內(nèi)。2。應安裝好CCD超聲探頭 輸入正確的用戶名和密碼。進入程序初始化界面。3。在主操作界面檢測各機械運動部件運行狀態(tài)及運行范圍、應全部達到要求,4,應將待測樣品放入水槽的底部平臺上。合理設置工藝參數(shù)并對樣品分別完成B超掃描,C超掃描、TAMI掃描,相位掃描.獲取清晰掃描圖像。5,當使用線寬和間距為10μm的測試樣件。100MHz探頭進行掃描成像時,圖像應能夠清楚地分辨樣品的線條,
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