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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機(jī)
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)
- 5.4 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機(jī)
- 5.7 顯 影 臺(tái)
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
- 5.9 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測(cè)設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
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- 機(jī)械行業(yè)節(jié)能設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] JBJ 14-2004
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- 溫室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)荷載 GB/T 18622-2002
- 特種設(shè)備信息化工作管理規(guī)則 TSG Z0002-2009
- 氧氣用截止閥 JB/T 10530-2018
- 機(jī)械安全 安全防護(hù)的實(shí)施準(zhǔn)則 GB/T 30574-2014
- 燒結(jié)機(jī)械設(shè)備安裝規(guī)范[附條文說明] GB 50723-2011
5。3。真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)5 3。2 本條規(guī)定了真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)的調(diào)試及試運(yùn)行要求、6、應(yīng)盡量延長(zhǎng)真空泵的抽氣時(shí)間，以便盡可能地抽除鍍膜室內(nèi)的殘余氣體,9 10、真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)按蒸發(fā)加熱方式可分為電阻加熱。電子束加熱 電阻和電子束加熱、感應(yīng)加熱。激光加熱等,電子束蒸發(fā)是目前的主流技術(shù),近年來隨著技術(shù)的發(fā)展出現(xiàn)了離子束輔助蒸發(fā)技術(shù)、這兩款是針對(duì)電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備來進(jìn)行規(guī)定的,