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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說(shuō)明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機(jī)
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)
- 5.4 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機(jī)
- 5.7 顯 影 臺(tái)
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
- 5.9 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測(cè)設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
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- 直縫電焊鋼管 GB/T 13793-2016
- 固定式鋼梯及平臺(tái)安全要求 第3部分：工業(yè)防護(hù)欄桿及鋼平臺(tái) GB 4053.3-2009
- 回彈儀 GB/T 9138-2015
- 道路車輛 車輛識(shí)別代號(hào)（VIN） GB 16735-2019
- 蒸餾法海水淡化蒸汽噴射裝置通用技術(shù)要求 HY/T 116-2008
- 錐密封焊接式 55°非密封管螺紋90°彎管接頭 JB/T 6382.2-2007
- 銷軸 GB/T 882-2008
5,7，顯，影 臺(tái)5 7,1,顯影臺(tái)屬于大型精密微組裝設(shè)備、體積大 質(zhì)量重，室內(nèi)搬運(yùn)就位應(yīng)使用載量足夠的叉車，搬運(yùn)氣墊等機(jī)械設(shè)施.不得僅依靠人力,以免造成人身或設(shè)備損傷、1、搬運(yùn)時(shí)防撞防抖 不能直接拖動(dòng)。以防止部件損壞。2 為保證顯影的均勻性。安裝時(shí)真空吸盤應(yīng)呈水平狀態(tài) 3,由專業(yè)人員為顯影,清洗腔安裝排風(fēng)系統(tǒng) 防止操作時(shí)顯影液對(duì)人體的傷害和對(duì)凈房氣氛的影響。5，設(shè)備工作時(shí)產(chǎn)生的大量工藝污水需及時(shí)進(jìn)行排放 工藝污水可能帶有腐蝕性，為避免污水對(duì)周圍環(huán)境造成污染.或是對(duì)操作人員造成傷害.設(shè)備必須接好通向廢液處理池的管道 并將設(shè)備的排液管路可靠地接入廢液管道,本款為強(qiáng)制性條款.設(shè)備安裝人員必須嚴(yán)格執(zhí)行。6、為避免造成污染和設(shè)備損傷 儲(chǔ)液罐及噴濺系統(tǒng)安裝好后不應(yīng)漏液。5.7。2 本條規(guī)定了顯影臺(tái)的調(diào)試及試運(yùn)行要求.2 對(duì)于負(fù)膠顯影。顯影液,漂洗液應(yīng)以均勻霧狀噴灑到基片上.對(duì)于正膠顯影、顯影液，漂洗液應(yīng)以噴淋方式噴灑到基片上。7。設(shè)備機(jī)械手自動(dòng)運(yùn)行時(shí)不得手動(dòng)在片盒中取片或放片 否則會(huì)造成基片和機(jī)械手損壞，