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5 9.化學機械拋光機5。9、1，化學機械拋光機的安裝應符合下列規(guī)定 1 應通過調節(jié)四個地腳高度來調平拋光臺、2,拋光廢液回收處理及處理后排放管道應與廠房的排污系統(tǒng)連接,5 9、2,化學機械拋光機的調試及試運行應符合下列規(guī)定、1，應準備好拋光液,長度。寬度為100mm.100mm的待拋光專用測試樣片,并將循環(huán)水及拋光液饋入系統(tǒng)。廢液處理系統(tǒng)應工作正常，2 應在拋光頭及拋光臺相應位置粘上反射薄膜、應用非接觸式轉速表對準反射薄膜測試并調節(jié)拋光頭及拋光臺的轉速,3.壓力以0,005MPa為一檔時、應依次將拋光頭壓力從0 005MPa調到0 05MPa，應觀測壓力傳感器測量值、測試結果應滿足設備技術要求、4.清洗待拋光基片、并應固定到拋光臺上.5、應設置拋光壓力,拋光轉速。拋光液滴注流量.運行拋光程序,6,應在磨拋后的樣片磨拋面上取五個大小分別為0.3mm.0.3mm的點域 應用原子力顯微鏡測出這五個局部點的粗糙度。然后應計算平均值 所測各點的粗糙度與平均值相比較時,允許偏差應為 3,7。應以樣片中心為厚度采樣測試點并測量磨拋前.后的樣片厚度。磨拋時應啟動終點檢測功能 并應將磨拋前 后的樣片厚度測量值進行比較,過拋光厚度應小于50nm