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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 流 延 機(jī)
- 4.3 切 片 機(jī)
- 4.4 生瓷打孔機(jī)
- 4.5 激光打孔機(jī)
- 4.6 微孔填充機(jī)
- 4.7 絲網(wǎng)印刷機(jī)
- 4.8 疊 片 機(jī)
- 4.9 等靜壓層壓機(jī)
- 4.10 熱 切 機(jī)
- 4.11 低溫共燒陶瓷燒結(jié)爐
- 4.12 厚膜燒結(jié)爐
- 4.13 激光調(diào)阻機(jī)
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程驗(yàn)收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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4 11,低溫共燒陶瓷燒結(jié)爐4。11.1、低溫共燒陶瓷燒結(jié)爐的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定、1.應(yīng)通過調(diào)節(jié)地腳螺栓逐步調(diào)平載片臺.2,排氣管道應(yīng)垂直放置,并應(yīng)使其敞口罩覆蓋住燒結(jié)爐的兩個排氣口、排氣管道不得直接連接到燒結(jié)爐的排氣口。4，11 2、低溫共燒陶瓷燒結(jié)爐的調(diào)試及試運(yùn)行應(yīng)符合下列規(guī)定 1、空爐測試控溫精度、溫度均勻性時(shí).應(yīng)滿足相關(guān)要求,設(shè)備超溫報(bào)警及自動切斷加熱功能應(yīng)運(yùn)行正常.2 設(shè)定爐溫應(yīng)在30min內(nèi)從25，升到300.在300，應(yīng)保溫2h,然后應(yīng)在1h內(nèi)降到25。3，運(yùn)行烘爐程序時(shí)、載片臺升降應(yīng)平穩(wěn)，各加熱元件,溫控儀及供。排風(fēng)應(yīng)工作正常、4 應(yīng)編制典型低溫共燒陶瓷燒結(jié)溫度曲線程序，應(yīng)在操作界面設(shè)置四路進(jìn)氣的預(yù)熱溫度，爐腔壓力,氣流量,5。應(yīng)將準(zhǔn)備好的低溫共燒陶瓷生瓷塊放置在載片臺的燒結(jié)載板上，啟動運(yùn)行程序燒結(jié)并觀察曲線跟蹤情況。6、燒結(jié)過程中應(yīng)隨時(shí)檢查進(jìn)氣預(yù)熱溫度及爐腔氣壓,氣流量的控制、溫度曲線跟蹤等情況,應(yīng)正常工作,異常時(shí)燒結(jié)爐應(yīng)自動啟動報(bào)警保護(hù)功能、7 燒成的低溫共燒陶瓷基板應(yīng)無裂損,翹曲 分層。起泡。掉皮等缺陷.