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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 6.1 一般規(guī)定
- 6.2 芯片粘片機(jī)
- 6.3 芯片共晶焊機(jī)
- 6.4 共 晶 爐
- 6.5 引線鍵合機(jī)
- 6.6 倒裝焊機(jī)
- 6.7 等離子清洗機(jī)
- 6.8 選擇性涂覆機(jī)
- 6.9 平行縫焊機(jī)
- 6.10 儲能焊機(jī)
- 6.11 激光焊機(jī)
- 7 工藝檢測設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程驗(yàn)收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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6.4,共,晶、爐6，4、1.共晶爐的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定、1、設(shè)備的真空泵應(yīng)安置在穩(wěn)定的基礎(chǔ)面上、并應(yīng)配有襯墊 2 冷水機(jī)應(yīng)在主機(jī)側(cè)面放置.3，根據(jù)設(shè)備要求氣體管路應(yīng)與設(shè)備接通，氣體通入前應(yīng)保證質(zhì)量符合設(shè)備要求,4,應(yīng)根據(jù)設(shè)備額定功率配置主機(jī)電源 6、4,2,共晶爐的調(diào)試及試運(yùn)行應(yīng)符合下列規(guī)定,1，啟動真空泵 運(yùn)行時(shí)噪聲,振動應(yīng)無異常、腔體真空度可在規(guī)定時(shí)間內(nèi)降到規(guī)定值，2 冷水機(jī)腔體內(nèi)應(yīng)充入純水、接通冷水機(jī)電源并啟動水冷系統(tǒng)。水壓應(yīng)滿足設(shè)備使用要求 3、在室溫到最高溫度間選取某一溫度設(shè)定為爐溫值進(jìn)行加熱，加熱完成后應(yīng)分別在加熱板的九個(gè)固定點(diǎn)上用控溫?zé)崤紲y量溫度并與設(shè)定值比較。允許偏差應(yīng)為、5。4、設(shè)定最高溫度.加熱完成后測量實(shí)際值應(yīng)能達(dá)到設(shè)定值,5,啟動控制系統(tǒng)軟件、并應(yīng)設(shè)置氣體壓力。溫度曲線，真空度.加熱電流 觀察顯示器上的實(shí)時(shí)監(jiān)控程序時(shí),應(yīng)能正常運(yùn)行共晶工藝進(jìn)程，