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5,6。曝 光。機(jī)5,6、1、曝光機(jī)的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定。1,設(shè)備搬運(yùn)時(shí)應(yīng)采用叉車結(jié)合氣墊平穩(wěn)移動(dòng)。不得有振動(dòng),2、設(shè)備安裝前應(yīng)定制基座用來防振、安裝時(shí)應(yīng)通過反復(fù)調(diào)節(jié)四個(gè)地腳螺栓高度使得曝光機(jī)承片臺(tái)水平.并應(yīng)用水平儀進(jìn)行檢測(cè)確認(rèn).3。激光光路及曝光光源必須安裝防護(hù)門。罩等保護(hù)裝置，4、激光光源與主設(shè)備接連的管路應(yīng)無彎曲、5，設(shè)備應(yīng)裝配二級(jí)過濾和二級(jí)調(diào)壓氣閥.安裝壓縮空氣時(shí)應(yīng)先接入二級(jí)過濾閥。再接入二級(jí)調(diào)壓閥 最后再接入設(shè)備 5.6.2 曝光機(jī)的調(diào)試及試運(yùn)行應(yīng)符合下列規(guī)定 1。應(yīng)準(zhǔn)備好光刻版，已均勻涂覆好光刻膠的待光刻基片及對(duì)應(yīng)顯影液，掩模版應(yīng)有雙面薄膜保護(hù) 并應(yīng)置于版盒中，2、曝光系統(tǒng)應(yīng)具有光強(qiáng)調(diào)節(jié)裝置，光源調(diào)節(jié)應(yīng)靈活可靠.曝光均勻性應(yīng)隨分辨率要求而定 不應(yīng)大于2 5，3,應(yīng)將帶有光刻掩模版的版盒放入曝光機(jī)上光刻版盒卡槽位置、選擇。讀入光罩 模式 機(jī)械手可自動(dòng)將光罩載入到光刻版平臺(tái)上.4，打開曝光機(jī)汞燈預(yù)熱30min后.應(yīng)用紫外線測(cè)量儀測(cè)量承片臺(tái)上,下。左,右,中五處的光刻強(qiáng)度、均勻性應(yīng)優(yōu)于 5.并應(yīng)根據(jù)測(cè)量強(qiáng)度設(shè)置好光刻能量.5 準(zhǔn)備工作做好后應(yīng)進(jìn)行接觸式或投影式光刻,光刻后應(yīng)及時(shí)顯影，6.應(yīng)觀察顯影清洗后基片上的光刻圖形。整個(gè)基片圖形應(yīng)均勻 無損傷。無連條、圖形邊緣應(yīng)整齊、無鋸齒和毛刺、