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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 5 薄膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 6 組裝封裝工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 7 工藝檢測設備安裝、調(diào)試及試運行
- 7.1 一般規(guī)定
- 7.2 飛針測試系統(tǒng)
- 7.3 聲學掃描檢測系統(tǒng)
- 7.4 3D光學測量儀
- 7.5 自動光學檢查儀
- 7.6 激光測厚儀
- 7.7 X射線檢查儀
- 7.8 芯片剪切力／引線拉力測試儀
- 8 工程驗收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線工藝設備安裝工程驗收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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7.工藝檢測設備安裝、調(diào)試及試運行7、1,一般規(guī)定7。1 1 微組裝的工藝檢測設備主要應包括飛針測試系統(tǒng).聲學掃描檢測系統(tǒng)、3D光學測量儀。自動光學檢查儀.激光測厚儀，X射線檢查儀,芯片剪切力。引線拉力測試儀,7 1.2,飛針測試系統(tǒng),聲學掃描檢測系統(tǒng),3D光學測量儀 自動光學檢查儀 X射線檢查儀可在地面上安裝。激光測厚儀.芯片剪切力 引線拉力測試儀宜在臺面上放置，7，1、3。飛針測試系統(tǒng)。聲學掃描檢測系統(tǒng)應安裝在7級凈化的潔凈間中.其他工藝檢測設備可安裝在8級凈化的潔凈間中 溫度宜為18 25 相對濕度宜為40、60。