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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說(shuō)明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機(jī)
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)
- 5.4 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機(jī)
- 5.7 顯 影 臺(tái)
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
- 5.9 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測(cè)設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
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- 機(jī)械工業(yè)環(huán)境保護(hù)設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說(shuō)明] JBJ 16-2000
- 溫室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)荷載 GB/T 18622-2002
- 家用燃?xì)庠罹?GB 16410-2020
- 低合金高強(qiáng)度結(jié)構(gòu)鋼 GB/T 1591-2018
5 5,旋涂及熱板系統(tǒng)5、5,1。本條規(guī)定了旋涂及熱板系統(tǒng)的安裝要求,1.設(shè)備的水平直接影響到高速旋盤(pán)能否穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)以及涂膠的厚度均勻性、因此勻膠承片臺(tái)的水平至關(guān)重要。3.為阻止膠液飛濺到設(shè)備外.高速旋盤(pán)上方應(yīng)安裝可靠的防護(hù)罩、6，設(shè)備應(yīng)具有斷電保護(hù)裝置，防止因失電造成基片飛出等故障