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- 微組裝生產(chǎn)線(xiàn)工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 基本規(guī)定
- 3.1 施工條件
- 3.2 設(shè)備開(kāi)箱
- 3.3 設(shè)備搬運(yùn)
- 3.4 設(shè)備安裝
- 3.5 設(shè)備調(diào)試與試運(yùn)行
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測(cè)設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
- 附錄A 微組裝生產(chǎn)線(xiàn)工藝設(shè)備安裝工程驗(yàn)收記錄用表
- 本規(guī)范用詞說(shuō)明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說(shuō)明
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- 特種設(shè)備信息化工作管理規(guī)則 TSG Z0002-2009
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3，基本規(guī)定3,1。施工條件3 1、1。微組裝設(shè)備安裝前，潔凈廠(chǎng)房應(yīng)符合下列規(guī)定，1.應(yīng)空態(tài)驗(yàn)收合格，凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)正常運(yùn)行24h以上、2 溫度宜為20、26，3，相對(duì)濕度宜為30.70,4。地坪承載能力應(yīng)滿(mǎn)足設(shè)備承載要求,5、凈空高度應(yīng)滿(mǎn)足設(shè)備安裝要求。6 廠(chǎng)房入口的人身凈化設(shè)施應(yīng)已啟用、7,應(yīng)具備設(shè)備搬入口 8,消防設(shè)施應(yīng)已通過(guò)專(zhuān)項(xiàng)驗(yàn)收.可以啟用.9 防靜電工作區(qū)的防靜電設(shè)施應(yīng)已通過(guò)測(cè)試驗(yàn)收,10、應(yīng)有符合要求的電源。氣源 水源和接地端子，11,應(yīng)設(shè)置員工安全疏散通道。3。1。2.微組裝設(shè)備安裝應(yīng)具備下列技術(shù)文件,1，設(shè)備安裝平面圖 2.設(shè)備裝箱清單,3,設(shè)備制造商提供的設(shè)備安裝.運(yùn)行、維護(hù)技術(shù)文件及安裝技術(shù)參數(shù).3.1,3.進(jìn)入凈化廠(chǎng)房的施工人員應(yīng)取得進(jìn)入潔凈區(qū)的通行證 特殊工種應(yīng)按有關(guān)規(guī)定持證上崗 3、1 4.設(shè)備安裝及配管配線(xiàn)工程材料應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范。GB,50472的有關(guān)規(guī)定、3、1 5.施工用的機(jī)具應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，微電子生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范.GB.50467的有關(guān)規(guī)定