"大量文字復(fù)制"等功能僅限VIP會(huì)員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進(jìn)行復(fù)制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復(fù)制等特權(quán)
- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說(shuō)明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機(jī)
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)
- 5.4 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機(jī)
- 5.7 顯 影 臺(tái)
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
- 5.9 化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 7 工藝檢測(cè)設(shè)備安裝、調(diào)試及試運(yùn)行
- 8 工程驗(yàn)收
熱門資源
更多>
- 使用異丁烷制冷劑生產(chǎn)家用和類似用途制冷器具安全技術(shù)規(guī)范 QB/T 2912-2016
- 氣體疏液閥 JB/T 13599-2018
- 氣瓶安全技術(shù)規(guī)程 TSG 23-2021
- 多效蒸餾海水淡化裝置通用技術(shù)要求 HY/T 106-2008
- 塑料及其襯里制壓力容器 第5部分：塑料襯里制壓力容器的制造、檢查與檢驗(yàn) GB/T 35974.5-2018
- 爆破片裝置安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程（含第1號(hào)修改單） TSG ZF003-2011
- 鋅負(fù)極原電池汞鎘鉛含量的限制要求 GB 24427-2021
- 鎳及鎳合金制壓力容器 JB/T 4756-2006
- 承壓設(shè)備損傷模式識(shí)別 GB/T 30579-2022
- 容積式空氣壓縮機(jī)能效限定值及能效等級(jí) GB 19153-2019
5,薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝.調(diào)試及試運(yùn)行5,1 一般規(guī)定5、1，1，薄膜工藝是在已選擇好的基片上淀積金屬或金屬化合物 一般在基片上順序地淀積一層電阻材料、一層阻擋金屬材料和一層頂層導(dǎo)體材料。這些層相當(dāng)薄?？捎谜婵照舭l(fā)，濺射淀積.化學(xué)氣相淀積工藝和這些工藝的變種，本章根據(jù)典型的薄膜基板制造工藝過(guò)程.即機(jī)械拋光 基片清洗，濺射種子層。聚酰亞胺涂敷.濺射鈦層，光刻A1版,刻蝕.去膠,電鍍,去除Ti。聚酰亞胺層。光刻A1反版，腐蝕種子層。去膠、同時(shí)考慮突出設(shè)備專用于薄膜工藝的特點(diǎn),列出了磁控濺射鍍膜機(jī),真空蒸發(fā)鍍膜機(jī),化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)、旋涂及熱板系統(tǒng) 曝光機(jī)、顯影臺(tái),反應(yīng)離子刻蝕機(jī)，化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)等8種主要工藝設(shè)備 對(duì)各設(shè)備的安裝及試運(yùn)行要求作出具體規(guī)定，5。1.3 本節(jié)所涉及的測(cè)試儀器有、萬(wàn)能工具顯微鏡。膜厚測(cè)試儀。工具顯微鏡