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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設(shè)備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 5 薄膜基板制造工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機
- 5.4 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機
- 5.7 顯 影 臺
- 5.8 反應(yīng)離子刻蝕機
- 5.9 化學(xué)機械拋光機
- 6 組裝封裝工藝設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 7 工藝檢測設(shè)備安裝、調(diào)試及試運行
- 8 工程驗收
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5、4、化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)5 4,1.本條規(guī)定了化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)的安裝要求、1 目前主流的化學(xué)氣相淀積技術(shù)有常壓化學(xué)氣相淀積 低壓化學(xué)氣相淀積,等離子體增強化學(xué)氣相淀積.金屬氧化物化學(xué)氣相淀積等、不同的淀積技術(shù)對工藝氣體的組分要求有所不同.3。由于化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)工藝要使用到SiH4.PH4,SF6，CH4、CF6等易燃.易爆或?qū)θ梭w有毒的危險性氣體 為保證設(shè)備使用安全和人身安全、安裝時應(yīng)同時安裝危險氣體泄漏報警裝置,本款為強制性條款。設(shè)備安裝人員必須嚴格執(zhí)行 5.為了保證操作時的安全,機殼應(yīng)良好接地.5，4 2。本條規(guī)定了化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)的調(diào)試及試運行要求.2.應(yīng)盡量延長真空泵的抽氣時間,以便盡可能地抽除爐體內(nèi)的殘余氣體。8 不同的膜種類,如多晶硅,氧化硅.氮化硅等,其片內(nèi) 片間,批間的均勻性 淀積速率有所不同、