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5，4?；瘜W氣相淀積系統(tǒng)5，4.1 化學氣相淀積系統(tǒng)的安裝應符合下列規(guī)定 1 應由專業(yè)人員正確接入工藝氣體管路及真空管路。工藝氣體應根據(jù)不同的化學氣相淀積技術進行選擇,2，氣體管道及管道部件應使用耐腐蝕不銹鋼材料.在氣路部分、氣源瓶柜 真空排氣部分。機柜上方應設排風口 且排風管道的內徑不得小于50mm,3.對使用危險氣體SiH4。PH4，SF6,CH4 CF6的化學氣相淀積系統(tǒng) 安裝時應同時安裝危險氣體泄漏報警裝置,4 工藝腔室內的部件及饋氣管道在安裝前應進行清潔和干燥處理，5，機殼接地電阻不應大于4Ω,6。循環(huán)冷卻水溫度應為18、26 壓力應符合設備指標要求、5,4 2?；瘜W氣相淀積系統(tǒng)的調試及試運行應符合下列規(guī)定、1.應檢查緊急按鈕是否有效.2.啟動真空泵時，運行狀態(tài)應符合下列規(guī)定，1,噪聲 振動應無異常.2。真空室真空度可在規(guī)定時間內降到規(guī)定值,本底真空的壓力值應控制在2，10.4Pa以下,極限真空的壓力值可達到8。10 5Pa，3,應延長真空泵的抽氣時間。3,具備加熱功能的設備應做空載烘烤處理 4，根據(jù)設備要求應設置高純氮氣或氦氣等保護氣體流量。并應向爐內通入保護氣體進行吹掃，5,待淀積的樣片應清洗.烘干后應裝入在爐管內的載片舟內、并應將載片舟調整到工作位置、6.設定淀積溫度。淀積時間、淀積工藝氣體比例和進氣量，淀積壓力、應在抽氣正常的情況下通入工藝氣體、7.運行淀積程序進行淀積時，應定期檢查工藝氣體和保護氣體流量，8 淀積程序完成后取出已淀積樣片 用光學膜厚測試儀測試膜層的厚度均勻性 附著力 膜層組分和晶體結構應滿足要求 膜厚均勻性應符合設備指標要求，