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- 微組裝生產(chǎn)線工藝設備安裝工程施工及驗收規(guī)范 GB 51037-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 基本規(guī)定
- 4 低溫共燒陶瓷及厚膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 5 薄膜基板制造工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 磁控濺射鍍膜機
- 5.3 真空蒸發(fā)鍍膜機
- 5.4 化學氣相淀積系統(tǒng)
- 5.5 旋涂及熱板系統(tǒng)
- 5.6 曝 光 機
- 5.7 顯 影 臺
- 5.8 反應離子刻蝕機
- 5.9 化學機械拋光機
- 6 組裝封裝工藝設備安裝、調(diào)試及試運行
- 7 工藝檢測設備安裝、調(diào)試及試運行
- 8 工程驗收
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5，6、曝 光,機5 6 1，本條規(guī)定了曝光機的安裝要求。1,設備搬運時下面應墊上軟墊、以防止抖動造成玻璃光學系統(tǒng)損壞和位置偏移 2、為保證光刻時光刻強度有較高的均勻性 且光刻版和基片緊密接觸、無任何縫隙、設備安裝時承片臺應水平，3，激光光路及曝光光源必須裝有防護門,罩等保護裝置 以免對操作人員的眼睛和皮膚造成損害。本款為強制性條款,設備操作人員必須嚴格執(zhí)行,