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- 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范 GB 50472-2008
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求
- 4 總體設計
- 5 工藝設計
- 6 潔凈建筑設計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風設計
- 8 給水排水設計
- 9 純水供應
- 10 氣體供應
- 10.1 一般規(guī)定
- 10.2 常用氣體系統(tǒng)
- 10.3 干燥壓縮空氣系統(tǒng)
- 10.4 特種氣體系統(tǒng)
- 11 化學品供應
- 12 電氣設計
- 13 防靜電與接地設計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求
- 附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災危險性分類舉例
- 附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例
- 附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認證
- 本規(guī)范用詞說明
- 條文說明
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10，氣體供應10，1 一般規(guī)定10,1.1、潔凈廠房內(nèi)應根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體 常用氣體,干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應滿足生產(chǎn)工藝要求 10.1.2、常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)、應根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅顩r等因素.經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。10,1。3，潔凈廠房常用氣體,特種氣體的制備.儲存,分配系統(tǒng)。除應符合本規(guī)范外 還應符合現(xiàn)行國家標準，建筑設計防火規(guī)范、GB50016，氫氣站設計規(guī)范。GB 50177和。氧氣站設計規(guī)范。GB,50030等的有關規(guī)定、10,1，4，潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管 應敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi) 當與水,電管線共架時 比空氣重的氣體管道宜設在水 電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設在水 電管線上部,10、1，5、潔凈室，區(qū).內(nèi)的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷。穿過潔凈室。區(qū)、的墻壁或樓板處的管段應設置套管,套管內(nèi)的管道不得有焊縫 套管與管道之間應采取密封措施 10，1、6,可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間,當必須穿過時應設套管或雙層管 10.1 7，高純氣體管道設計應符合下列規(guī)定.1，管徑應按氣體容許流量.壓力或生產(chǎn)工藝設備確定,管外徑不宜小于6mm.壁厚不宜小于1mm。2,不得出現(xiàn)不易吹除的。盲管,等死空間,3，管道系統(tǒng)應設置吹掃口和取樣口。10。1。8。潔凈廠房的可燃氣體管道系統(tǒng)應設置下列安全設施。1 可燃氣體管道設置閥門時應設置閥門箱 閥門箱應設置氣體泄漏報警和事故排風裝置 報警裝置應與相應的事故排風機聯(lián)鎖.2、接至用氣設備的支管和放散管,宜設置阻火設施.3,引至室外的放散管、應設置防雷保護設施。4,應設置導除靜電的接地設施、10 1、9。氣體過濾器應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度的要求進行選擇和配置，終端氣體過濾器應設置在靠近用氣點處,