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10，氣體供應(yīng)10。1 一般規(guī)定10,1.1，潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體 常用氣體.干燥壓縮空氣,其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求、10，1 2 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)、應(yīng)根據(jù)氣體用量 氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素、經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。10，1 3，潔凈廠房常用氣體.特種氣體的制備 儲(chǔ)存.分配系統(tǒng) 除應(yīng)符合本規(guī)范外.還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn) 建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范，GB50016。氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范 GB，50177和，氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范、GB 50030等的有關(guān)規(guī)定 10、1 4。潔凈廠房?jī)?nèi)的氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當(dāng)與水.電管線共架時(shí)。比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水,電管線下部 比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水。電管線上部，10、1、5 潔凈室、區(qū)，內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷,穿過潔凈室。區(qū) 的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管 套管內(nèi)的管道不得有焊縫,套管與管道之間應(yīng)采取密封措施.10、1,6.可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間.當(dāng)必須穿過時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管 10.1、7、高純氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定，1、管徑應(yīng)按氣體容許流量,壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定,管外徑不宜小于6mm,壁厚不宜小于1mm 2，不得出現(xiàn)不易吹除的、盲管。等死空間。3。管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口，10,1。8，潔凈廠房的可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列安全設(shè)施 1?？扇?xì)怏w管道設(shè)置閥門時(shí)應(yīng)設(shè)置閥門箱.閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖.2。接至用氣設(shè)備的支管和放散管,宜設(shè)置阻火設(shè)施 3 引至室外的放散管、應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施。4,應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。10 1.9、氣體過濾器應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體潔凈度的要求進(jìn)行選擇和配置.終端氣體過濾器應(yīng)設(shè)置在靠近用氣點(diǎn)處，