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5。5，設(shè)備及工器具5.5.1,5。5.3,在這三條的條文中、規(guī)定了為實(shí)現(xiàn)在潔凈室、區(qū)。內(nèi)使用防塵，防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備。在工藝設(shè)計(jì)和選用設(shè)備時(shí)應(yīng)該遵循的一些基本要求 1 設(shè)備表面光潔。易清潔。不積塵，不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì)，這里不能只理解為設(shè)備外表面，應(yīng)該包括設(shè)備的所有可能與潔凈室。區(qū)。生產(chǎn)環(huán)境接觸的表面和可能與電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程接觸的表面,也包括這些表面的制作材料,某些電子產(chǎn)品與一些化學(xué)物質(zhì)在制作過程中或在電子產(chǎn)品的使用過程中可能發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，影響某些電子產(chǎn)品的性能參數(shù)。所以要求設(shè)備表面不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì).2,在電子工業(yè)潔凈室。區(qū)。內(nèi)、常常按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求配置有在生產(chǎn)運(yùn)行中將會(huì)散發(fā)微?；蚺艧崃看蠡蚺懦鲇卸?、可燃?xì)怏w的設(shè)備,如半導(dǎo)體器件.集成電路生產(chǎn)中的擴(kuò)散爐,外延爐 刻蝕機(jī)，離子注入設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等，此類設(shè)備一般均設(shè)有局部排風(fēng)設(shè)施，即第5.5.1條第3款所稱，防擴(kuò)散措施,有的設(shè)備還配帶有專用尾氣.排氣.處理設(shè)備，對(duì)所排出的高濃度有害氣體或有毒或可燃?xì)怏w進(jìn)行處理后,才能經(jīng)過潔凈廠房中設(shè)置的相關(guān)排氣系統(tǒng)排出,3,由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需要,某些設(shè)備必須跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室.區(qū)、時(shí),應(yīng)采取固定隔斷或潔凈空氣幕等可靠的密封隔斷措施，4,為保護(hù)潔凈室，區(qū)，內(nèi)工作人員的身體健康。本規(guī)范第3 2.5條規(guī)定了潔凈室，區(qū) 內(nèi)噪聲容許值，因此安裝在潔凈室 區(qū).內(nèi)的設(shè)備應(yīng)選用符合要求的低噪聲設(shè)備。但由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程或設(shè)備設(shè)計(jì).運(yùn)行條件的限制、所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時(shí) 應(yīng)根據(jù)具體工程項(xiàng)目的實(shí)際條件采取相應(yīng)的隔聲措施 如操作間隔聲，隔聲值班室,隔聲罩 隔聲屏等 5、5、5 本條的規(guī)定是對(duì)潔凈室，區(qū)、電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中 存放.傳送各種材料,中間產(chǎn)品或零部件使用的專用容器的設(shè)計(jì)。制作及其材料等的基本要求。由于電子產(chǎn)品種類繁多。它們?cè)谏a(chǎn)過程的存放 傳送條件和要求有較大差異,所以本條是推薦性條文,對(duì)于某些電子產(chǎn)品如集成電路的芯片生產(chǎn)用專用容器應(yīng)遵循本條文的1 4款的規(guī)定.并且由于芯片的集成度的不同或運(yùn)送的材料,中間產(chǎn)品的狀態(tài)不同.專用容器中充填的氮?dú)饧兌纫笠矔?huì)有所不同.而對(duì)另一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程用專用容器 只需按其生產(chǎn)工藝特點(diǎn)遵循本條中的相關(guān)規(guī)定,5、5 6。本條為強(qiáng)制性條文,其編寫的依據(jù)是。1、電子工業(yè)潔凈廠房中常常設(shè)置有各種類型的真空泵。用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中的抽真空或用于排氣等,是生產(chǎn)工藝設(shè)備的輔助設(shè)備或就是生產(chǎn)工藝設(shè)備的一部分。各種類型的真空泵一般安裝在潔凈室.區(qū)，內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備鄰近處或配套組裝在生產(chǎn)工藝設(shè)備上 有的則安裝在潔凈室。區(qū)、的輔助生產(chǎn)間或技術(shù)支持區(qū)內(nèi)。為了確保潔凈室，區(qū) 的正常生產(chǎn)，避免安全事故的發(fā)生,應(yīng)對(duì)設(shè)置在潔凈室,區(qū)，內(nèi)的有油潤(rùn)滑的真空泵.輸送含有可燃?xì)怏w的真空泵,傳輸易燃.自燃化學(xué)品或高濃度含氧氣體或氧化性化學(xué)品的真空泵等設(shè)置必須的安全技術(shù)措施.為此制定了本條的規(guī)定。2.參照美國(guó)消防協(xié)會(huì)、NFPA，標(biāo)準(zhǔn)NFPA 318 潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)，Standard,for the,procection of、cleanroom，第8.6,1條和第8。6 2條規(guī)定,在本條中作出了相關(guān)規(guī)定.